Пьезоэлектрические акселерометры ZETLAB
Пьезоэлектрический акселерометр является вибродатчиком, отдающим электрический сигнал переменного тока.
Из закона сохранения энергии следует, что на выходе любого устройства (в том числе акселерометра) нельзя получить энергию в отсутствии энергии на входе этого устройства. Приложенная на пьезоэлементы акселерометра статическая сила не сопровождается присутствием энергии на входе последнего. Следовательно, пьезоэлектрический акселерометр вообще не отдаёт сигнал постоянного тока. Самый простой и широко распространённый на практике метод проверки акселерометров и содержащих последние комплектов и систем основывается на применении опорного источника механических колебаний с точно определёнными параметрами, т.е. калиброванного вибростенда.
Требования, предъявляемые к качеству поверхности исследуемого или испытуемого объекта.
Одним из важных условий сохранения большого значения частоты резонанса закрепленного акселерометра и, следовательно, широкого рабочего частотного диапазона последнего является как можно высокое качество (ровность, гладкость и чистота) поверхности исследуемого или испытуемого объекта на и вблизи места крепления акселерометра.
Поперечная чувствительность.
Пьезоэлектрические акселерометры чувствительны не только к механическим колебаниям в направлении их главной (продольной) оси, но в некоторой степени и к колебаниям в перпендикулярной к этой оси плоскости. Значение поперечной чувствительности выражается в процентах от значения чувствительности в направлении главной оси. Идеальным считался бы
Поперечная чувствительность надежно закрепленных акселерометров не превышает 10% от их номинальной чувствительности в направлении главной оси на всех частотах в диапазоне с верхним пределом, равным вычисленному на 6 значению соответствующей резонансной частоты. На частотах, близких (коэффициент умножения прибл. 1/3) частоте резонанса закрепленного акселерометра, практически нельзя определить точное значение поперечной чувствительности. Это обусловлено находящимся в соответствующей области поперечным резонансом акселерометра.
Диаграмма, способствующая определению относящихся к различным направлениям значений поперечной чувствительности акселерометра.
Места крепления акселерометров.
Расположение мест крепления акселерометров часто непосредственно связано с целями соответствующих исследований. Нужно подчеркнуть, что при выборе мест крепления следует учитывать необходимость совпадения оси максимальной чувствительности (главной оси) закрепленного акселерометра с направлением, соответствующим условиям осуществляемых исследований. Корпус закрепляемого акселерометра целесообразно направить так, чтобы упомянутая красная метка совпадала с направлением поперечных колебаний с максимальными амплитудами. Соблюдение этого указания способствует существенному уменьшению влияний поперечных колебаний исследуемого или испытуемого объекта.
Места крепления акселерометров нужно выбирать с учетом достижения как можно коротких и хорошо определенных путей распространения механических колебаний от их источников к используемым вибродатчикам. Между источниками механических колебаний и местами крепления акселерометров должны находиться лишь жесткие элементы, в то время как упругие и/или демпфирующие элементы (пружины, прокладки и др.) нужно по мере возможности исключить. Например, при исследованиях механических колебаний оборудования вращательного действия оптимальными с точки зрения крепления акселерометра или акселерометров являются корпуса подшипников.
При исследованиях механических колебаний часто нужна информация, относящаяся лишь к одной из главных осей (вертикальной или горизонтальной) учитываемого оборудования. Однако, применение трехкомпонентного акселерометра даёт возможность одновременных исследований механических колебаний в направлениях трех взаимно перпендикулярных осей.
Переходная характеристика акселерометра.
При исследованиях кратковременных (переходных, импульсных и др.) механических колебаний и механических ударов необходимо уделять особое внимание линейности используемой виброметрической аппаратуры, так как всякого рода нелинейность любого элемента обуславливает искажение формы волны отображающих исследуемые процессы сигналов. Пьезоэлектрические акселерометры являются высоколинейными вибродатчиками, способствующими неискажённой обработке разного рода кратковременных механических колебаний и ударов. В содержащих эти акселерометры системах вероятной причиной искажений и других затруднений являются используемые совместно предусилители и, чаще всего, различные интеграторы и/или фильтры. Однако, для обеспечения нужных точности, надёжности и воспроизводимости результатов при исследованиях кратковременных механических колебаний и механических ударов целесообразно учитывать рассматриваемые ниже явления и процессы.
Частота незатухающих собственных колебаний.
Частота незатухающих собственных колебаний является одним из основных параметров акселерометров, несмотря на ее весьма ограниченное применение в области виброметрической практики. Один из методов определения незатухающих собственных колебаний предполагает возбуждение подвешенного на соответствующем соединительном кабеле акселерометра сигналом переменного тока, сообщаемым ему соответствующим генератором через конденсатор емкостью 1 нФ. Частота незатухающих собственных колебаний по определению является частотой, при которой напряжение сигнала возбуждения и протекающий через акселерометр ток точно совпадают друг с другом по фазе. Приближенное значение этой частоты определяется при помощи осциллоскопа, на экране ЭЛТ которого одновременно изображаются напряжения на выводах акселерометра и на упомянутом конденсаторе, причем искомый результат получается при достижении равного 90° фазового сдвига упомянутых напряжений. При практическом применении этой системы осуществляется настройка частоты сигнала возбуждения до достижения на экране ЭЛТ осциллоскопа фигуры Лиссажу в виде окружности, соответствующей равному 90° сдвигу по фазе. Частота незатухающих собственных колебаний акселерометра потом равна частоте настройки отдающего сигнал возбуждения генератора.
Номограмма для пересчёта значений различных величин механических колебаний.
Показанная ниже номограмма отображает в графическом виде соотношения между различными величинами механических колебаний, т.е. частотой, перемещением, скоростью, и ускорением гармонических механических колебаний. На основе значений двух величин можно по этой номограмме определить соответствующие значения остальных двух величин механических колебаний. Для увеличения изображения щелкните по нему левой кнопкой «мыши».
Источник: Справочник по теории и эксплуатации.
Пъезоэлектрические акселерометры и предусилители. Брюль и Къер.
Высокотемпературный акселерометр | Kistler
Что такое высокотемпературный акселерометр?
Высокотемпературный акселерометр – это пьезоэлектрический датчик, измеряющий ускорения. Он работает как пружинно-массовая система, и его часто применяют для сбора данных о динамических процессах – т. е. вибрациях или пульсациях горения – и наблюдения за их ходом. Благодаря использования кристалла «PiezoStar» он выдерживает температуры в 700 °C (1300 °F), а кратковременно – и до 1000 °C. Использование дифференциальной технологии и работа на срез обеспечивают низкий уровень шума и высокую точность. Снабженный специальной изоляцией кабель высокой жесткости, способный выдерживать столь высокие температуры, соединяет датчик с зарядным усилителем.
Для чего используют высокотемпературные акселерометры?
Высокотемпературные акселераторы используют для измерения ускорений в тяжелых условиях – например, в космических сценариях применения (т. е. при испытаниях ракет) или для наблюдения за работой газовых турбин и детонационных двигателей. Их используют также на атомных электростанциях.
Из чего состоит измерительная цепь высокотемпературного акселерометра?
Кроме самих датчиков, высокое качество измерения обеспечивают жесткие и гибкие кабели и дифференциальные зарядовые усилители. В дополнение ко всему этому, для работы в тяжелых условиях используют Ex-сертифицированные компоненты.
Какие типы высокотемпературных акселерометров существуют?
Среди акселерометров как таковых различают одноосные и трехосные датчики: Одноосевые измеряют ускорение лишь в одном направлении, тогда как трехосевые фиксируют сигналы во всех трех измерениях пространства. Кроме того, имеются варианты для различных предельных температур, т. е. < 260 °C, < 480 °C и > 700 °C, а также сертифицированные (ATEX, IECEx) версии для опасных зон. Для научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ имеются версии минимального размера и веса. И последнее по порядку, но не по важности – в рыночные стандарты для высокотемпературных акселерометров включены квадратные и треугольные отпечатки ARINC.
Институт высоких технологий и пьезотехники ЮФУ
Пьезоэлектрические датчики вибрации и удара
(Акселерометры)
Предназначены для измерения параметров вибрации и удара в широких диапазонах частот, амплитуд и температур.
Используются в машиностроении, энергетике, транспорте, нефтяной и газовой промышленности и других областях техники, в том числе в системах виброконтроля, мониторинга и диагностики, охранно-сигнализационных комплексах.
Выполнены на основе пьезоэлементов, разработанных и изготовленных в НКТБ «Пьезоприбор». Характеризуются высокой надежностью и стабильностью метрологических характеристик к влиянию внешних воздействий.
Малогабаритные датчики вибрации (акселерометры)
Наименование |
AK 290-10 |
AK 3165-2 |
Коэффициент преобразования: по заряду, пКл·м-1·с2 по напряжению, мВ·м-1·с2 |
10 ± 6 % 2 |
2 ± 10 % 0,3 |
Частота резонанса (смонтированного), кГц |
22 |
55 |
Рабочий диапазон частот, кГц |
1 — 7000 |
1 — 15000 |
Электрическая емкость, нФ |
5,0 |
7,0 |
Относительный коэффициент поперечного преобразования, %, не более |
5 |
5 |
Рабочий диапазон температур, 0C |
От минус 60 до 200 |
От минус 60 до 215 |
Материал корпуса |
Титан |
|
Максимально виброускорение, м · с-2 | 10000 | |
Выход |
Симметричный изолированный (вмонтированный кабель) |
|
Размеры, мм |
S17x25 |
S14x20 |
Масса, г |
32 |
12 |
Миниатюрный АК3270
Наименование | |
Коэффициент преобразования:
по заряду, пКл·м-1·с2 по напряжению, мВ·м-1·с2 |
0,35 ± 10 % 0,31 ± 10 % |
Рабочий диапазон частот, кГц | 2 — 20000 |
Рабочий диапазон температур, 0C | От минус 60 до 200 |
Электрическая емкость, нФ | 1.2 |
Относительный коэффициент поперечного преобразования, %, не более | 5 |
Рабочий диапазон температур, 0C | От минус 60 до 200 |
Максимально виброускорение, м · с-2 | 10000 |
Материал корпуса | Титан |
Выход | Симметричный изолированный
(вмонтированный кабель) |
Размеры, мм | S10x11 |
Масса, г | 3,3 |
Акселерометры серии АК21
Описание:
Малогабаритные пьезоэлектрические акселерометры для измерения интенсивных вибрационных и ударных ускорений
Наименование |
АК2120 |
АК2125 |
Коэффициент преобразования: по заряду, пКл·м-1·с2 по напряжению, мВ·м-1·с2 |
1 ± 10 % 2 |
0, ± 10 % 0,2 |
Частота резонанса (смонтированного), кГц | 55 | 80 |
Диапазон рабочих частот, кГц:
— при неравномерности амплитудно-частотной характеристики ± 6 — при неравномерности амплитудно-частотной характеристики ± 12 |
2 — 10000 2 — 17000 |
2 — 17000 2 — 25000 |
Электрическая емкость, нФ | 4.0 | 1.0 |
Относительный коэффициент преобразования, %, не более | 5 | 5 |
Предельное рабочее вибрационное
ускорение, м · с-2 |
20000 | 50000 |
Предельное рабочее ударное ускорение, м · с-2 | 60000 | 120000 |
Рабочий диапазон температур, 0C | От минус 60 до 200 | |
Выход | Симметричный, изолированный
(вмонтированный боковой кабель) |
|
Материал корпуса | Титан | |
Способ крепления | Шпилька М5 | Выступ М5 |
Размеры, мм | S14x20 | S12x19.5 |
Масса, г | 11 | 8 |
Схема крепления |
Акселерометры серии АК317
Сертификат об утверждении типа средств измерений RU.C.28.004.A № 10666
4 типа в стандартном корпусе
Наименование | АК 317-2 | АК 317-10 | АК 317-25 | АК 317-50 |
Действительное значение коэффициента преобразования по заряду (номинальное значение), пКл · м-1·с2 | 2 | 10 | 25 | 50 |
Отклонение действительного значения коэффициента преобразования по заряду от номинального значения, % | ± 6 | ± 3 | ± 6 | ± 6 |
Действительное значение коэффициента преобразования по напряжению, мВ · м-1 · с2, не менее | 0,3 | 1 | 1,1 | 1,2 |
Электрическая емкость, нФ, не менее | 5 | 8 | 18 | 30 |
Резонансная частота закрепленного ВИП, кГц, не менее:
— в рабочем направлении — в поперечном направлении |
30 10 |
13 7 |
13 6 |
11 5 |
Диапазон рабочих частот, Гц, не менее | 10-7500 | 10-3500 | 10-3500 | 10-3000 |
Неравномерность амплитудно-частотной характеристики в диапазоне рабочих частот, %, не более | ± 6 | ± 6 | ± 6 | ± 6 |
Предельное рабочее вибрационное ускорение, м · с-2 | 1000 | 5000 | 5000 | 2500 |
Нелинейность амплитудной характеристики в диапазоне ускорений от 1 до 100 м · с-2, % , не более | ± 2 | ± 2 | ± 2 | ± 2 |
Электрическое сопротивление изоляции в нормальных условиях, МОм, не менее· | 1000 | 1000 | 1000 | 100 |
Относительный коэффициент поперечного преобразования, %, не более | 2,5 | 2,5 | 2,5 | 2,5 |
Рабочий диапазон температур, оС | от минус 60 до 160 | от минус 60 до 160 | от минус 60 до 160 | от минус 60 до 125 |
Дополнительная температурная погрешность, % / оС | 0,045 | 0,045 | 0,045 | 0,125 |
Предельная рабочая температура, оС | 200 | 200 | 200 | 160 |
Масса без кабеля, г, не более | 100 | 100 | 100 | 100 |
Эксплуатационные требования
- — коэффициент влияния деформации основания не более 3х10-3 (м·с-2) / (мкм·м-1)
- — коэффициент влияния магнитного поля не более 2х10-5 (м·с-2) / (А·м-1)
- — коэффициент влияния акустического поля не более 1х10-3 (м·с-2) / дБ
- — средний срок службы не менее 10 лет
- — средний срок безотказной работы в условиях эксплуатации не менее 10000 часов
- — закрепление на контролируемом объекте осуществляется тремя винтами М4 или шпилькой М5
Исполнение рассчитано на эксплуатацию в промышленных условиях:
- — герметичный корпус из нержавеющей стали;
- — прочный помехозащищенный фторопластовый антивибрационный кабель типа АВКТДЛ;
- — стальной оцинкованный защитный металлорукав;
- — специальные многослойные пьезоэлектрические элементы из термостабильной керамики;
- — выводы, изолированные от корпуса;
- — возможность фланцевого закрепления на контролируемом объекте.
Малогабаритный высокочувствительный акселерометр АПП2-1
Малогабаритный высокочувствительный акселерометр клеевого крепления для измерения малых уровней виброколебаний в диапазоне низких и средних частот.
Выполнен на основе специального многослойного пьезоэлектрического элемента.
Коэффициент преобразования по заряду, пКл·м–1·с2, не менее | 75 |
Коэффициент преобразования по напряжению, мВ·м–1·с2 | 4,5 |
Резонансная частота (в закрепленном состоянии), кГц | 22 |
Диапазон рабочих частот (при неравномерности 6 %), Гц | 1 — 6000 |
Электрическая емкость, нФ | 15 |
Относительный коэффициент поперечного преобразования, % | <5 |
Сопротивление изоляции пьезоэлемента, МОм, не менее | 1000 |
Габаритные размеры, мм, не более | Ø25×20 |
Масса, г, не более | 60 |
- — Материал корпуса – титановый сплав.
- — Рекомендуется использование согласующего зарядового усилителя.
Пьезокерамические датчики вибрации (Акселерометры)
Piezoceramic sensors of vibration (Accelerometers) (EN)
Поверка акселерометра пьезоэлектрического 4507 — Реестр 41578-09 — Методика поверки — Свидетельство об утверждении – РЦСМ
Акселерометры пьезоэлектрические серии 4500 (далее акселерометры) предназначены для измерения виброускорения, и могут быть использованы в нефтяной, газовой, энергетической и других отраслях промышленности, где необходимо измерять параметры вибрации. Поверка акселерометра пьезоэлектрического 4507 осуществляется в аккредитованной лаборатории РЦСМ и занимает от 1 до 5 дней.
Поверка акселерометра пьезоэлектрического 4507
Акселерометры представляют собой пьезоэлектрический вибропреобразователь инерционного типа, использующий прямой пьезоэлектрический эффект. Электрический заряд чувствительного элемента пропорционален ускорению, воздействующему на преобразователь.
Акселерометры могут иметь выход по напряжению (Ге1 аТгоп), либо зарядовый выход. В последнем случае они должны использоваться с внешним усилителем заряда.
Акселерометры различаются характеристиками, креплением, температурным диапазоном, массой и габаритными размерами. Акселерометры типов 4504А, 4506-хх, 4515-хх, 4520-xx, 4524-xx, 4525-xx являются трехосевыми акселерометрами.
Миниатюрные акселерометры DeltaTron типов 4507 и 4508 разработаны специально для работы в жестких внешних условиях, свойственных предприятиям автомобильной промышленности. Обладая высокой чувствительностью, малой массой и небольшими габаритами, они идеально подходят для модальных измерений, например, для измерений на автомобильных кузовах и трансмиссиях, а также для модального анализа на поездах, летательных и космических аппаратах. Основное отличие между акселерометрами двух типов состоит в расположении коаксиального разъема: в приборах типа 4508 он размещен на верхней поверхности перпендикулярно основной оси (верхний разъем), а в приборах типа 4507 — на боковой поверхности параллельно основной оси (боковой разъем).
ПРИМЕНЕНИЕ
Модальные измерения в приложениях для автомобильных кузовов и трансмиссий.
Многоканальные измерения для модального анализа
Измерения для структурного анализа
ОСОБЕННОСТИ
Прочный титановый корпус с несъемным титановым разъемом
Простая подгонка к испытываемым объектам различной конфигурации за счет использования установочных зажимов
Легкая конструкция ThetaShear с высоким отношением «чувствительность/масса» и очень низкой чувствительностью к внешним факторам
Возможность трехосевого монтажа
Акселерометры DeltaTron
Непосредственное подключение к (ICP®-совместимому) источнику питания DeltaTron. Принцип DeltaTron позволяет использовать недорогие кабели. Низкое полное выходное сопротивление позволяет использовать длинные кабели
Встроенные предусилители с низким уровнем шума со специализированными интегральными схемами для получения динамического диапазона, превышающего 100 дБ
Возможность выбора чувствительности от 10 мВ/g до 1В/g
Использование стандарта IEEE P1451.4 «Интеллектуальный интерфейс для датчиков с таблицами TEDS» (акселерометры типов 4507B и 4508B)
Зарядовые акселерометры (4507C и 4508C)
Чувствительность 5 пКл/g
Рабочая температура до 250°C (482°F)
Датчик вибрации (акселерометр) Брюль и Къер 4384
Пьезоэлектрические датчики ускорения. Вибродатчики (Акселерометры).
ВведениеПрименениеОсобенности
Акселерометр 4384
вибродатчик 4384Type 4384 is a DeltaShearTM Unigain* accelerometer. Он обладает расположенным сверху разъемом 10–32 UNF‐2A и резьбовым отверстием 10–32 UNF‐2B, предназначенным для монтажа. Прибор 4384-V† имеет те же технические характеристики и стабильность, что и прибор модели 4384, но отличается увеличенным допуском чувствительности.
Характеристики
Пьезоэлектрический акселерометр может использоваться в качестве источника заряда. Его чувствительность выражена в единицах заряда на единицу ускорения (пКл/мс–2, пКл/g).
Конструкция DeltaShear состоит из трех пьезоэлектрических элементов и трех сейсмических масс, расположенных в виде треугольника вокруг треугольного центрального столбика. Они удерживаются на месте при помощи зажимного кольца, которое изолируют всю конфигурацию от основания. Кольцо также обеспечивает предварительное сжатие пьезоэлектрических элементов, что позволяет добиться высокой степени линейности. Под воздействием вибрации пьезоэлектрические элементы создают заряд, который скапливается между корпусом и зажимным кольцом. В приборе применяется пьезоэлектрический элемент PZ 23, выполненный из цирконат-титаната свинца, а его корпус изготовлен из титана.
Технические характеристики вибропреобразователя 4384 и 4384-V
Номер модели | 4384 | 4384‐V | |||
Общие характеристики | |||||
Масса (без учета кабеля, если это возможно) |
грамм | 11 | |||
унций | 0,39 | ||||
Зарядовая чувствительность (на частоте 159,2 Гц) | пКл/мс–2 | 1 ± 2% | 1 ± 15% | ||
пКл/g | 9,8 ± 2% | 9,8 ± 15% | |||
Частотный диапазон (пределы ±10%) | Гц | от 0,1 до 12600 | |||
Монтажная резонансная частота | кГц | 42 | |||
Макс. поперечная чувствительность (30 Гц, 100 мс–2) | % | < 4 | |||
Резонансная поперечная частота | кГц | 15 | |||
Макс. рабочее непрерывное синусоидальное ускорение (ампл.) | кмс–2 | 60 | |||
g | 6000 | ||||
Электрическая схема | |||||
Уровень остаточных шумов (измерено прибором NEXUS модели 2692-001 в указанном частотном диапазоне) | ммс–2 | 2,4 | |||
мg | 0,24 | ||||
Емкость (без учета кабеля) | пФ | 1100 | |||
Мин. сопротивление утечки (при 20 °C) | ГОм | 20 | |||
Параметры окружающей среды | |||||
Рабочий диапазон температур | °C | от -74 до +250 | |||
°F | от -101 до +482 | ||||
Температурный коэффициент чувствительности | %/°C | 0,05* | |||
Чувствительность к перепадам температур (Нижн. гр. частота 3 Гц (–3 дБ, 6 дБ/окт.)) | мс–2/°C | 0,4 | |||
g/°F | 0,022 | ||||
Чувствительность к деформации основания (при плоскостности основания 250 мкε) |
мс–2/мкε | 0,02 | |||
g/мкε | 0,002 | ||||
Чувствительность к магнитному полю (50 Гц, 0,038 Tл) | мс–2/Тл | 4 | |||
g/кГс | 0,04 | ||||
Максимальное неразрушающее соударение (±ампл.) | кмс–2 | 200 | |||
g | 20000 | ||||
Механические испытания | |||||
Материал корпуса | Титан ASTM марки 2 | ||||
Пьезоэлектрический чувствительный элемент | PZ 23 | ||||
Конструкция | DeltaShear | ||||
Герметизация | Соединен сваркой | ||||
Электрический разъем | 10–32 UNF-2A | ||||
Монтаж | Резьбовое отверстие 10–32 UNF-2B × 3,2 мм | ||||
Момент затяжки | Макс. | Нм (фунт-сил∙дюйм) | 3,5 (31) | ||
Мин. | 0,5 (4,4) |
Калибровка
Акселерометры Unigain имеют чувствительность, откалиброванную к удобному значению, такому как 1, 3,16 или 31,6 пКл/мс–2. Чувствительность, указанная в калибровочной таблице, измерена на частоте 159,2 Гц с уровнем доверительной вероятности 95% и коэффициентом перекрытия k = 2.
Акселерометры (датчики вибрации) этой подгруппы, являющиеся универсальными датчиками ускорения при измерениях вибрации по одной оси и ударных воздействий на испытываемые конструкции, клиенты компании Bruel & Kjaer используют при выполнении следующих видов вибрационных испытаний и измерений:
- Измерения ускорений при экспериментальных исследованиях особо чувствительных к вибрациям объектов на вибростендах на малых частотах и при малых значениях ускорений. Мониторинг процессов вибрации по одной оси во время вибрационных тестов.
- Мониторинг в условиях экстремальных температур (-74,+250°C) работы оборудования, приборов и процессов, сопровождающихся вибрациями.
- Исследования в области экспериментального модального и структурного анализа, в которых для получения результатов не нужно больших ускорений конструкции.
- Благодаря тому, что акселерометры 4384, 4384 V являются термостойкими и могут успешно применяться , как при обычных, так и экстремальных температурах (от -74°C до 250°C) установка их на объект, исследуемый на высокотемпературных и низко температурных испытательных стендах, дает возможность получать параметры вибрации при изменении температурного фона в широком диапазоне без смены датчиков.
- Высокая чувствительность дает возможность измерять малые ускорения с высокой точностью.
-
Долговременно стабильные параметры, благодаря сварному стальному корпусу.
Подробнее об акселерометрах серии 4384
Пьезоэлектрический акселерометр
Изобретение относится к пьезотехнике, а более конкретно к датчикам для измерения вибрационных и ударных ускорений сложных технических объектов, работающих в условиях, приближенных к экстремальным механическим перегрузкам, в частности в реактивных двигателях, авиации, ракетостроении, энергетике.
Такие датчики ускорения должны удовлетворять следующим требованиям — измерять ускорение 104-5⋅104 g, иметь рабочие частоты до 10-30 кГц, минимальную чувствительность к воздействию деформации контролируемого объекта в месте крепления акселерометра, малые габариты и массу.
Работа пьезоэлектрических акселерометров основана на использовании прямого пьезоэлектрического эффекта, в результате которого при деформации пьезоэлектрического элемента под воздействием силы инерционного характера генерируется электрический заряд. В различных вариантах конструкций пьезоэлектрических акселерометров используются три типа рабочей деформации пьезоэлектрического элемента — растяжения-сжатия, изгиба или сдвига. Для экстремальных условий эксплуатации наиболее предпочтительными являются пьезоэлектрические акселерометры с рабочей деформацией типа растяжения-сжатия, отличающиеся высокой резонансной частотой, большой прочностью к механическим перегрузкам и меньшем коэффициентом смещения нулевой линии (дрейфа нуля).
Известны пьезоэлектрические акселерометры, работающие по механической схеме продольного растяжения-сжатия, которые содержат основание для крепления на контролируемом объекте, инерционный элемент (массу) и расположенный между ними пьезоэлектрический элемент, состоящий, по крайней мере, из одного пьезоактивного слоя с параллельным относительно оси чувствительности направлением поляризации (RU 2400760, G01P 15/09, опубликован 27.09.2010) [1], (RU 2402019, G01P 15/09, 20.10.2010) [2]. Ускорение контролируемого объекта передается акселерометру, при этом масса инерционного элемента вызывает деформацию пьезоэлемента, на электродах которого возникает электрический сигнал, пропорциональный мгновенному значению ускорения. Рабочий диапазон частот акселерометра в 3-5 раз меньше резонансной частоты закрепленного акселерометра, которая зависит от массы инерционного элемента, коэффициентов упругости пьезоэлемента и основания (Янчич В.В. Пьезоэлектрическое приборостроение, том VII. Пьезоэлектрические виброизмерительные преобразователи (акселерометры). Ростов-на-Дону: Изд-во ЮФУ, 2010. — 304 с., стр. 68-70) [3].
Недостатком известных пьезоэлектрических акселерометров является чувствительность к деформациям контролируемого объекта, которые передаются через основание пьезоэлектрическому элементу и вызывают возникновение паразитного электрического заряда, что приводит к искажению выходного сигнала и снижению точности и достоверности измерений. Для ослабления чувствительности к деформации рекомендуется увеличить расстояние от чувствительного элемента до установочной поверхности или дополнительно к этому использовать основание специальной сложной конфигурации (см. стр. 93 в кн.: Ж. Аш с соавторами. Датчики измерительных систем: В 2-х книгах. Кн. 2. Пер. с франц. — М.: Мир, 1992. — 424 с., книга 2, с. 92-93) [4], (RU 513313, G01P 15/08, опубл. 05.05.1976) [5], что приводит к увеличению массы и габаритов акселерометра.
Известен пьезоэлектрический акселерометр, работающий на деформации растяжения-сжатия (SU 1561045 A1, G01P 15/09, опубликовано 30.04.90) [6], в котором сделана попытка ослабления чувствительности к деформации контролируемого объекта. Пьезоэлектрический акселерометр содержит основание, инерционную массу и расположенный между ними пьезоэлемент с продольным относительно оси чувствительности направлением поляризации. Основание выполнено из двух металлических накладок, между которыми размещена изолирующая шайба. Все элементы акселерометра стянуты резьбовой шпилькой, а накладки выполняют роль токосъемных электродов. При наличии ударных или знакопеременных ускорений пьезоэлемент, нагруженный инерционной массой, испытывает механические деформации, а возникающий при этом в результате прямого пьезоэффекта электрический заряд пропорционален ускорению контролируемого объекта. Уменьшение влияния на чувствительный элемент деформации со стороны контролируемого объекта достигается выполнением изолирующей шайбы из волокнистого материала, у которого модуль упругости меньше модуля упругости сопрягаемых элементов основания. Это приводит к уменьшению механических напряжений, передаваемых пьезоэлементу, и повышению точности измерений благодаря ослаблению сигнала помехи, вызываемого воздействием на чувствительный элемент деформаций контролируемого объекта в месте крепления акселерометра.
Недостатками известного акселерометра являются:
— наличие изолирующей шайбы с низким модулем упругости приводит к снижению продольной жесткости основания акселерометра и, следовательно, к снижению его резонансной частоты и уменьшению верхней границы рабочего диапазона частот;
— сложность конструкции основания, которое выполнено из трех отличающихся по форме и материалу элементов;
— необходимость увеличения высоты элементов основания акселерометра для обеспечения достаточной изгибной жесткости приводит к увеличению габаритов акселерометра.
Следовательно, в известном устройстве повышение точности измерений за счет снижения влияния деформаций контролируемого объекта неизбежно приводит к снижению верхней границы рабочего диапазона частот, усложнению конструкции и увеличению габаритов акселерометра.
Задача ослабления чувствительности к деформации за счет увеличения расстояния от чувствительного элемента до установочной поверхности путем увеличения высоты основания и выполнения его из материала с высокой жесткостью решена в классической конструкции пьезоэлектрического акселерометра (CN 203561647 (U) 2014-04-23, МПК: G01P 15/09, 2014-04-23) [7], принятого за прототип заявляемого изобретения.
Пьезоэлектрический акселерометр — прототип с рабочей деформацией типа растяжения-сжатия содержит корпус, основание и инерционный элемент, между которыми расположены рабочий двухслойный пьезоэлектрический элемент, выполненный в форме диска с центральным осевым отверстием и электродами на плоских поверхностях (торцах), слои имеют встречное направление поляризации вдоль продольной оси и электрически соединены параллельно. Между слоями расположена тонкая металлическая прокладка для присоединения выводов. Все элементы конструкции механически жестко связаны между собой и стянуты через пружину посредством резьбовой шпильки и гайки.
Увеличение высоты основания приводит к увеличению массы и габаритов акселерометра, снижению резонансной частоты и, следовательно, верхней границы рабочего диапазона частот.
Техническим результатом настоящего изобретения является снижение чувствительности пьезоэлектрического акселерометра к деформации контролируемого объекта при уменьшении габаритов, повышении резонансной частоты и увеличении верхней границы рабочего диапазона частот.
Указанный технический результат достигается тем, что пьезоэлектрический акселерометр содержит сжатые в пакет резьбовой шпилькой металлическое основание и расположенные на нем диэлектрическую прокладку, компенсационный пьезоэлектрический элемент с электродами на торцах и радиальным направлением поляризации от периферии к центральной оси акселерометра, параллельным плоскостям электродов, рабочий пьезоэлектрический элемент с электродами на торцах и осевым направлением поляризации в сторону основания, перпендикулярным плоскостям электродов, инерционный элемент, причем сопрягаемые электроды компенсационного и рабочего пьезоэлектрических элементов соединены между собой и с изолированным от основания выводом акселерометра, другой электрод рабочего пьезоэлектрического элемента имеет электрический контакт с инерционным элементом и основанием, а свободный электрод компенсационного пьезоэлектрического элемента подключен к основанию и другому выводу акселерометра через электрическую емкость, образованную диэлектрической прокладкой, соприкасающейся с металлической поверхностью инерционного элемента и свободным электродом компенсационного пьезоэлектрического элемента.
В предпочтительном исполнении пьезоэлектрического акселерометра диэлектрическая прокладка выполнена из сегнетоэлектрической керамики, имеющей значение диэлектрической проницаемости, в 10-20 раз меньшее, чем материал компенсационного пьезоэлектрического элемента.
Выполнение компенсационного пьезоэлектрического элемента с поперечным радиальным направлением поляризации, установленного на диэлектрической прокладке, позволяет преобразовать механические напряжения, возникающие в основании вследствие его деформации, в пропорциональный электрический сигнал (заряд или напряжение). При указанном электрическом включении пьезоэлектрических элементов вместо частичного ослабления механических напряжений (как у прототипа) становится возможной активная компенсация сигнала помехи, вызванной деформацией контролируемого объекта.
Выполнение диэлектрической прокладки из сегнетоэлектрической керамики, имеющей диэлектрическую проницаемость, в 10-20 раз меньшую, чем материала компенсационного пьезоэлектрического элемента, обеспечивает значение электрической емкости в электрической цепи, при которой происходит выравнивание электрических зарядов на пьезоэлементах, необходимое для компенсации сигнала помехи от деформации основания.
Изобретение поясняется чертежами.
Фиг. 1 — конструкция пьезоэлектрического акселерометра, продольное сечение, где а — направление измеряемого ускорения; Р — направление вектора поляризации пьезоэлектрических элементов.
Фиг. 2 — электрическая схема пьезоэлектрического акселерометра, где Р — направление вектора поляризации пьезоэлектрических элементов, q — заряд на выходе акселерометра.
Фиг. 3 — схема механизма компенсации влияния деформации основания, где штриховыми линиями изображен характер деформации элементов акселерометра при поперечном растяжении основания силой F, действующей при деформации со стороны контролируемого объекта; Р — направление вектора поляризации пьезоэлектрических элементов.
Таблица. Сравнительные усредненные характеристики макетных образцов пьезоэлектрических акселерометров. (См.ниже.)
Пьезоэлектрический акселерометр (фиг. 1) содержит металлическое основание 1, инерционный элемент 2, расположенные между ними рабочий пьезоэлектрический элемент 3 и компенсационный пьезоэлектрический элемент 4, выполненные в форме диска с центральным осевым отверстием. На торцах рабочего пьезоэлектрического элемента 3 нанесены электроды 5, 6, а на торцах компенсационного пьезоэлектрического элемента 4 нанесены электроды 7, 8. Рабочий пьезоэлектрический элемент 3 имеет направление поляризации Р, перпендикулярное плоскостям электродов 5, 6, а компенсационный пьезоэлектрический элемент 4 имеет радиальное направление поляризации Р относительно центральной оси акселерометра, параллельное плоскостям электродов 7, 8. Пьезоэлементы 3, 4 через диэлектрическую прокладку 9 упруго поджаты к основанию 1 через инерционный элемент 2 резьбовой шпилькой 10. Диэлектрическая прокладка 9, электрод 8 и поверхность металлического основания 1 образуют конденсатор с электрической емкостью С1.
Электроды 6, 7 (фиг. 2) соединены между собой и с выводом 11 пьезоэлектрического акселерометра. Электрод 5 соединен с выводом 12, а электрод 8 соединен через электрическую емкость С1 диэлектрической прокладки 9 с основанием 1 и выводом 12.
Основание 1 пьезоэлектрического акселерометра жестко закрепляют на поверхности контролируемого объекта. Работа пьезоэлектрического акселерометра основана на прямом пьезоэлектрическом эффекте. При воздействии на акселерометр вдоль его продольной оси измеряемого вибрационного или ударного ускорения пьезоэлектрическим элементам 3 и 4 от инерционного элемента 2 передается усилие, которое вызывает их осевую деформацию растяжения-сжатия.
Как следует из матрицы пьезомодулей большинства пьезокерамических материалов, при продольной деформации вдоль направления вектора поляризации Р за счет пьезомодуля d33 на электродах рабочего пьезоэлектрического элемента 3 возникает электрический заряд, пропорциональный значению ускорения (полезный сигнал), который может быть увеличен за счет нечетного количества слоев, электрически включенных между собой параллельно. На электродах компенсационного пьезоэлектрического элемента 4, способного генерировать заряд за счет пьезомодуля d15 только при деформации сдвига в радиальном направлении, электрический заряд не возникает.
Деформация контролируемого объекта в месте размещения акселерометра передается основанию 1 и через диэлектрическую прокладку 9 вызывает деформацию пьезоэлектрических элементов 3, 4 с поперечной и сдвиговой составляющими соответственно (фиг. 3). При этом поперечная составляющая деформации за счет пьезомодуля d31 вызывает возникновение электрического заряда только на пьезоэлектрическом элементе 3 (сигнала помехи), а сдвиговая составляющая деформации за счет пьезомодуля d15 приводит к возникновению электрического заряда только на пьезоэлектрическом элементе 4, который используется для компенсации сигнала помехи, обусловленного деформацией контролируемого объекта.
При деформации основания 1 в случае направлений поляризации пьезоэлектрических элементов 3, 4, как показано на фиг. 1, заряды на электродах 6, 7 и электродах 5, 8 будут иметь противоположные знаки (фиг. 2). Так как электрический заряд на пьезоэлементе 4 будет больше, чем электрический заряд на пьезоэлементе 3, более удаленном от основания 1, то для выравнивания зарядов на них последовательно с пьезоэлементом 4 включена емкость С1, которая уменьшает электрический заряд с пьезоэлемента 4. Таким образом, выполняется условие компенсации сигнала помехи от деформации основания 1, заключающееся в равенстве значений электрических зарядов при противоположной полярности.
Для рассмотрения осуществимости и эффективности работы заявленного устройства изготовлены три вида макетных образцов пьезоэлектрических акселерометров в трех экземплярах каждый. Для изготовления макетных образцов были выбраны пьезоэлектрические и конструкционные материалы, наиболее характерные для изготовления отечественных пьезоэлектрических датчиков.
Конструкция макетного образца первого вида соответствует заявляемому изобретению (фиг. 1), который содержит основание 1 диаметром 14 мм, высотой 3 мм из стали 25X13h3, резьбовую шпильку 10 диаметром 3 мм из стали 12Х18Н10Т, инерционный элемент 2 диаметром 5 мм, высотой 3 мм из сплава ВНМ3-2 с плотностью 17,6 г/см3, пьезоэлектрические элементы 3, 4 диаметром 5 мм высотой 5 и 0,5 мм соответственно, с напыленными серебряными электродами 5-8, диэлектрическую прокладку 9 диаметром 10 мм, высотой 0,5 мм из неполяризованной сегнетоэлектрической керамики ТНВ-1 с относительной диэлектрической проницаемостью 105. Пьезоэлементы 3, 4 выполнены из пьезоэлектрической керамики ЦТС-83 с пьезомодулями d31=155 пКл/Н, d33=300 пКл/Н, d15=300 пКл/Н и относительной диэлектрической проницаемостью 1400.
Поляризация пьезоэлектрического элемента 3 в продольном направлении осуществлялась при температуре 250°C подачей на его электроды 5, 6 постоянного электрического напряжения 5,5 кВ в течение 15 минут, причем положительный потенциал подавался на электрод 6.
Для поляризации пьезоэлектрического элемента 4 в радиальном направлении на его внешнюю и внутреннюю образующие поверхности наносились временные технологические электроды, образованные тонким покрытием электропроводящей пасты на основе мелкодисперсного серебра с органической связкой. Затем на эти электроды подавалось постоянное электрическое напряжение 3,8 кВ в течение 15 минут при температуре 180°C, причем положительный потенциал подавался на внутренний технологический электрод. После поляризации технологические электроды удалялись, и на торцовые поверхности напылением серебра наносились рабочие электроды 6, 8. Выводы 11, 12 выполнены антивибрационным кабелем АВКТ-6 длиной 2000 мм.
Макетные образцы второго и третьего видов являются эквивалентом конструкции прототипа. Макет второго вида отличается от первого вида только отсутствием пьезоэлектрического элемента 4 и высотой основания, составляющей 3,5 мм. Конструкция третьего вида 3 отличается от второго вида только высотой основания, равной 9,5 мм.
Измерялись значения коэффициента преобразования по заряду, резонансная частота в закрепленном состоянии, рабочий диапазон частот при неравномерности амплитудно-частотной характеристики 5% и коэффициент влияния деформации основания, характеризующий относительную чувствительность акселерометра к деформации контролируемого объекта согласно стандартным методикам (Типовая программа государственных приемочных испытаний виброизмерительных преобразователей (вибродатчиков) ТПр 147-92. — М.: ВНИИМС, 1992. — 100 с.) [8], (ISO 5347-13: 1993. Датчики вибрации и ударов. Методы калибрования. Ч. 13. Испытания на чувствительность к деформации основания. Подтвержден в 2014 г.) [9], (ГОСТ Р 8.669-2009. Виброметры с пьезоэлектрическими, индукционными и вихретоковыми вибропреобразователями. Методика проверки. Москва, Стандартинформ, 2010) [10].
Коэффициент влияния деформации основания Кε определялся по формуле [3], с. 86-87:
где q — максимальное значение заряда, в пКл, на выходе акселерометра при воздействии деформации на его основание; ε — относительная деформация в месте крепления акселерометра, в мкм/м; Кз — коэффициент преобразования по заряду акселерометра, в пКл/(м⋅с-2).
Все макетные образцы имеют коэффициент преобразования, по заряду равный (1,5±3%) пКл/(м⋅с-2). Остальные характеристики, усредненные по трем образцам каждого вида, представлены в таблице.
Полученные результаты испытаний показали следующее:
— при практически одинаковых значениях массогабаритных параметров, частоте резонанса и верхней границе рабочего диапазона частот коэффициент влияния деформации основания макетных образцов первого вида в 60 раз меньше по сравнению со вторым видом;
— макетные образцы первого вида по сравнению с третьим видом имеют меньшие значения коэффициента влияния деформации основания в 13 раз, высоты в 1,5 раза, массы в 1,7 раза, но превосходят по частоте резонанса и верхней границе рабочего диапазона частот в 1,3 раза;
— увеличение высоты основания макетных образцов третьего вида по сравнению с первым видом по заявляемому изобретению в 2,7 раза хотя и способствует снижению коэффициента влияния деформации основания в 4,7 раза, но одновременно приводит к увеличению общей высоты в 1,5 раза, массы в 1,6 раза, а резонансная частота и верхняя граница рабочего диапазона частот при этом снижаются в 1,3 раза.
Проведенные сравнительные испытания заявляемого пьезоэлектрического акселерометра и конструкций, эквивалентных прототипу, показали возможность достижения указанного технического результата.
Источники информации
1. RU 2400760, G01P 15/09, опубл. 27.09.2010.
2. RU 2402019, G01P 15/09, 20.10.2010.
3. Янчич В.В. Пьезоэлектрическое приборостроение, том VII. Пьезоэлектрические виброизмерительные преобразователи (акселерометры). Ростов-на-Дону: Изд-во ЮФУ, 2010. — 304 с., стр. 68-70, 86-87.
4. Ж. Аш с соавторами. Датчики измерительных систем: В 2-х книгах. Кн. 2. Пер. с франц. — М.: Мир, 1992. — 424 с., книга 2, с. 92-93).
5. RU 513313, G01P 15/08, опубл. 05.05.1976.
6. SU 1561045 A1, G01P 15/09, опубл. 30.04.90.
7. CN 203561647 (U), МПК: G01P 15/09, 2014-04-23 — прототип.
8. Типовая программа государственных приемочных испытаний виброизмерительных преобразователей (вибродатчиков) ТПр 147-92. — М.: ВНИИМС, 1992. — 100 с.
9. ISO 5347-13: 1993. Датчики вибрации и ударов. Методы калибрования. Ч. 13. Испытания на чувствительность к деформации основания. Подтвержден в 2014 г.
10. ГОСТ Р 8.669-2009. Виброметры с пьезоэлектрическими, индукционными и вихретоковыми вибропреобразователями. Методика проверки. Москва, Стандартинформ, 2010.
Акселерометр | ATE-M.BY
Акселерометром называется прибор, который измеряет проекцию кажущегося ускорения*. Как правило, акселерометр – это закрепленная в упругом подвесе чувствительная масса. В случае наличия кажущегося ускорения по отклонению данной массы от своего первоначального положения и судят о величине этого ускорения.
* Кажущееся ускорение представляет собой разность между истинным ускорением объекта и гравитационным ускорением.
Конструктивное исполнение
Акселерометры бывают одно-, двух- и трехкомпонентные. Из названия, они соответственно измеряют кажущееся ускорение вдоль одной, двух и трех осей (X, Y, Z).
Невесомость
Истинное ускорение объекта в условиях невесомости вызывает лишь гравитационная сила, а потому истинное и гравитационное ускорения равны. Как следствие, отсутствует кажущееся ускорение и данные любого акселерометра равны 0 (нулю). Прекращают функционировать все системы, которые в качестве датчика наклона используют акселерометр. Пример: положение изображения на планшете или смартфоне не будет изменяться, когда вы будете поворачивать корпус.
Схема простейшего акселерометра
Итак, простейший акселерометр состоит из пружины с закрепленным на ней грузом и демпфера, который колебания данного груза и подавляет. Чем кажущееся ускорение больше, тем пружина деформируется сильнее, и показания прибора изменяются.
Когда происходит равновесие силы инерции груза и силы пружины, регистрируется величина смещения данного груза от нейтрального положения, которая свидетельствует о величине ускорения (замедления). Эта величина каким-либо датчиком перемещения регистрируется и на выходе устройства преобразуется в электрический сигнал.
Далее этот сигнал для обработки подается в электронный блок либо компьютер. Что касается, например, смартфонов, то таким образом есть возможность переключения музыкальных треков либо сбрасывания звонков.
Технологии построения современных акселерометров
В зависимости от технологии построения различают следующие акселерометры:
пьезоэлектрические;
пьезорезистивные;
на переменных конденсаторах.
Пьезоэлектрические акселерометры широко используются в задачах тестирования и измерений. Они отличаются очень широким диапазоном частот и диапазоном чувствительности. Кроме того, могут иметь различные размеры и формы. Выходной сигнал таких акселерометров может быть зарядовым либо по напряжению. С помощью датчиков можно измерять как удар, так и вибрацию.
Пьезорезистивные акселерометры обычно характеризуются малым диапазоном чувствительности, вследствие чего наиболее они применимы для детектирования ударов, нежели для определения вибрации. Кроме того, их используют в испытаниях на безопасность при столкновении. Данные акселерометры имеют в основном широкий диапазон частот, а частотная характеристика может доходить до 0 Гц (так называемые DC-датчики) либо оставаться неизменной. Это дает возможность измерения длительных сигналов.
Акселерометры на переменных конденсаторах, как и пьезорезистивные, имеют DC-ответ. Такие акселерометры имеют высокую чувствительность, узкую полосу пропускания, отличную температурную стабильность, малую погрешность. С помощью данных акселерометров измеряют низкочастотную вибрацию, движение и фиксированное ускорение.Пьезоэлектрические акселерометры: Практическое руководство
СОДЕРЖАНИЕ
- Конструкции акселерометров
- Типы акселерометров
- Характеристики акселерометра
- Диапазон частот
- Резонансные ошибки
Пьезоэлектрический акселерометр самогенерирующийся, поэтому не требует источника питания. Нет движущихся частей, которые могли бы изнашиваться, и, наконец, его выходной сигнал, пропорциональный ускорению, может быть интегрирован для получения сигналов, пропорциональных скорости и смещению.Они способны работать при экстремальных температурах, но ограничены высоким выходным сопротивлением, требующим малошумящих кабелей и усилителей заряда для обработки сигнала.
Сердце пьезоэлектрического акселерометра — это кусок пьезоэлектрического материала, обычно искусственно поляризованной сегнетоэлектрической керамики, который демонстрирует уникальный пьезоэлектрический эффект. Когда он подвергается механическому напряжению, будь то растяжение, сжатие или сдвиг, он генерирует электрический заряд на своих полюсных поверхностях, который пропорционален приложенной силе.
В практических конструкциях акселерометров пьезоэлектрический элемент устроен так, что, когда узел вибрирует, масса прикладывает к пьезоэлектрическому элементу силу, пропорциональную вибрационному ускорению. Это видно из закона Сила = Масса x Ускорение .
ПОДРОБНЕЕ
ДАТЧИК АКСЕЛЕРОМЕТРА
Для частот, лежащих значительно ниже резонансной частоты всей системы пружина-масса, ускорение массы будет таким же, как и ускорение основания, и, следовательно, величина выходного сигнала будет пропорциональна ускорению, с которым датчик вверх подвергается.
Обычно используются две конфигурации:
Тип сжатия, при котором масса оказывает сжимающее усилие на пьезоэлектрический элемент, и тип сдвига, когда масса оказывает поперечное усилие на пьезоэлектрический элемент.
Большинство производителей на первый взгляд имеют широкий спектр акселерометров, возможно, их слишком много, чтобы сделать выбор легким.
Небольшая группа типов «общего назначения» удовлетворит большинство потребностей. Они доступны с верхними или боковыми разъемами и имеют чувствительность в диапазоне от 1 до 10 мВ или пКл на м / с 2 .Типы Brüel & Kj Brr Uni-Gain® имеют свою чувствительность, нормализованную до удобной «круглой цифры», такой как 1 или 10 пКл / мс -2 , чтобы упростить калибровку измерительной системы.
Акселерометры CCLD / DeltaTron® или IEPE
АкселерометрыCCLD (постоянный ток) или акселерометры IEPE (Integrated Electronics Piezo Electric) — это пьезоэлектрические акселерометры со встроенными предусилителями, которые выдают выходные сигналы в виде модуляции напряжения в линии питания.
АкселерометрыBrüel & Kjr IEPE имеют высокую выходную чувствительность, высокое отношение сигнал / шум и широкую полосу пропускания, что делает их пригодными как для общих, так и для высокочастотных измерений вибрации.
Эти акселерометры представляют собой высокопроизводительные приборы с более высокой выходной чувствительностью, чем стандартные пьезоэлектрические акселерометры (без встроенных усилителей). Они герметично закрыты для защиты от загрязнения окружающей среды, имеют низкую восприимчивость к радиочастотному и электромагнитному излучению, а также низкое выходное сопротивление за счет внешнего источника постоянного тока.Низкоомный выход позволяет использовать недорогие коаксиальные кабели для акселерометров.
Многие акселерометры, не относящиеся к универсальному диапазону, имеют характеристики, ориентированные на конкретное применение. Пример; небольшие акселерометры, которые предназначены для измерений высокого уровня или высокой частоты и используются на хрупких конструкциях, панелях и т. д., которые весят прибл. От 0,5 до 2 граммов.
Другие специальные типы оптимизированы для одновременных измерений в трех взаимно перпендикулярных направлениях; высокие температуры; очень низкий уровень вибрации; шоки высокого уровня; калибровка других акселерометров путем сравнения; и постоянный мониторинг промышленных машин.
Чувствительность — это первая обычно рассматриваемая характеристика. В идеале мы хотели бы иметь высокий выходной уровень, но здесь мы должны пойти на компромисс, потому что высокая чувствительность обычно влечет за собой относительно большой пьезоэлектрический узел и, следовательно, относительно большой и тяжелый блок.
В нормальных условиях чувствительность не является критической проблемой, поскольку современные предусилители предназначены для приема этих сигналов низкого уровня. Масса акселерометров становится важной при измерениях на легких тестовых объектах.Дополнительная масса может значительно изменить уровни и частоту вибрации в точке измерения.
Обычно масса акселерометра не должна превышать одной десятой динамической массы вибрирующей части, на которой он установлен.
Если требуется измерить аномально низкие или высокие уровни ускорения, следует учитывать динамический диапазон акселерометра. Нижний предел, показанный на чертеже, обычно определяется не напрямую акселерометром, а электрическим шумом от соединительных кабелей и схемы усилителя.Этот предел обычно составляет всего одну сотую м / с 2 для инструментов общего назначения.
Верхний предел определяется структурной прочностью акселерометра. Типичный акселерометр общего назначения имеет линейный диапазон от 50000 до 100 000 м / с 2 , что хорошо в диапазоне механических ударов. Акселерометр, специально разработанный для измерения механических ударов, может быть линейным до 1000 км / с 2 (100000 g).
Механические системы имеют тенденцию иметь большую часть своей энергии вибрации в относительно узком диапазоне частот от 10 Гц до 1000 Гц, но измерения часто выполняются до 10 кГц, потому что на этих более высоких частотах часто присутствуют интересные составляющие вибрации.Поэтому при выборе акселерометра мы должны убедиться, что частотный диапазон акселерометра может охватывать интересующий диапазон.
Частотный диапазон, в котором акселерометр выдает истинный выходной сигнал, на практике ограничен в низкочастотном диапазоне двумя факторами. Первый — это отсечка низких частот усилителя, который следует за ним. Обычно это не проблема, так как предел обычно значительно ниже одного Гц.
Второй — это влияние колебаний температуры окружающей среды, к которому чувствителен акселерометр.С современными акселерометрами сдвигового типа этот эффект минимален, позволяя проводить измерения с частотой ниже 1 Гц в нормальных условиях.
Верхний предел определяется резонансной частотой системы масса-пружина самого акселерометра. Как показывает опыт, если мы устанавливаем верхний предел частоты равным одной трети резонансной частоты акселерометра, мы знаем, что вибрация, измеренная на верхнем пределе частоты компонента, будет иметь погрешность не более чем на + 12%. .
В небольших акселерометрах с небольшой массой резонансная частота может достигать 180 кГц, но для более крупных и более мощных акселерометров общего назначения типичны резонансные частоты от 20 до 30 кГц.
Поскольку акселерометр обычно имеет повышенную чувствительность на высокочастотном конце из-за его резонанса, его выходной сигнал не будет давать истинного представления о вибрации в точке измерения на этих высоких частотах.
При частотном анализе сигнала вибрации можно легко распознать, что высокочастотный пик возникает из-за резонанса акселерометра, и поэтому игнорировать его. Но если взять общее широкополосное показание, которое включает резонанс акселерометра, это даст неточный результат, если в то же время измеряемая вибрация также будет иметь компоненты в области около резонансной частоты.
Эта проблема решается путем выбора акселерометра с максимально широким частотным диапазоном и использования фильтра нижних частот, который обычно входит в состав измерителей вибрации и предусилителей, для отсечения нежелательного сигнала, вызванного резонансом акселерометра.
Где измерения ограничиваются низкими частотами. высокочастотная вибрация и резонансные эффекты акселерометра, такие как перегрузки электроники, могут быть устранены с помощью механических фильтров. Они состоят из упругой среды, обычно резины, закрепленной между двумя установочными дисками, которая устанавливается между акселерометром и установочной поверхностью.Обычно они снижают верхний предел частоты до 0,5–5 кГц.
ПОЛУЧИТЕ ПОЛНОЕ РУКОВОДСТВОИЗМЕРЕНИЕ ВИБРАЦИИ
BRÜEL & KJÆR
СКАЧАТЬ
Пьезоэлектрические акселерометры
Если вы хотите создать пьезоэлектрический акселерометр, соответствующий вашим конкретным потребностям и спецификациям, вам могут помочь прецизионные компоненты пьезоэлектрического акселерометра. Выбирайте из стандартных вариантов компонентов пьезоэлектрического датчика, а также индивидуальных решений в соответствии с вашими конкретными потребностями.
Независимо от того, нужно ли вам производить большие объемы индивидуальных пьезодатчиков, индивидуальные экспериментальные устройства в небольших количествах или датчики для университетских и частных исследований, важно начинать с правильных типов качественных компонентов.
Принципы работы
Акселерометр — это тип датчика, который измеряет силу, вызванную ускорением датчика. Для наглядности представьте себе деревянный ящик с колесами и бетонным блоком внутри.А теперь представьте, что кто-то щедро толкает эту коробку. Если этот человек толкнет коробку и ускорит ее достаточно быстро, бетонный блок внутри коробки может соскользнуть. Это связано с тем, что и коробка, и бетонный блок имеют инерцию и соответственно сопротивляются изменениям в их движении.
По мере ускорения коробки внутренняя поверхность оказывает сдвигающее усилие на поверхность бетонного блока, тем самым заставляя блок перемещаться вместе с коробкой — если только поперечная сила не превышает максимально допустимую силу трения.Однако, если бы этот блок был прочно приклеен к внутренней поверхности коробки, он никогда бы не скользил независимо от скорости ускорения.
Теперь предположим, что цемент между блоком и внутренней поверхностью коробки заменен пьезоэлектрической пластиной, работающей на сдвиг, для измерения силы сдвига. Соответствующие провода присоединяются от пьезопластины к мультиметру. В этом случае, если вы решите хорошенько подтолкнуть коробку, вы можете заметить изменение показания напряжения.Это изменение показания напряжения соответствует силе сдвига между блоком и коробкой.
Если отбросить метафоры, то, возможно, вы вообразили примитивный и простой пьезоакселерометр. Основной принцип работы любого акселерометра заключается в том, что масса известной величины подвешивается и ограничивается калиброванным датчиком силы. Таким образом, датчик может измерить всю силу, действующую на массу из-за ускорения. В случае пьезоакселерометра сила измеряется с помощью встроенного пьезодатчика.
Типы конфигураций
Часто требования к конструкции требуют, чтобы акселерометр был способен измерять компоненты ускорения в нескольких направлениях. В этом случае несколько гирь и преобразователей встроены в один компактный блок и образуют многоосевой акселерометр. Например, двухосевой пьезоэлектрический акселерометр будет включать в себя два набора масс и пьезодатчики, размещенные вдоль желаемых осей измерения. Они объединены в единый пакет.Точно так же трехосный акселерометр будет включать три набора масс и датчиков, ориентированных и откалиброванных соответствующим образом.
В некоторых приложениях могут даже потребоваться пьезоэлектрические акселерометры для измерения ускорения вращения вокруг одной или нескольких осей. Вам нужен трехосевой акселерометр, который измеряет компоненты линейного и вращательного ускорения по каждой из трех осей (всего шесть измерений)? В APC International есть инженеры, которые могут проконсультировать вас по вопросам разработки такого оборудования.
Пьезоэлектрические акселерометры могут включать или не включать в себя встроенную схему формирования сигнала. Проще говоря, схема формирования сигнала принимает исходное напряжение на выходе пьезодатчиков акселерометра. Затем он преобразует его в более удобный сигнал, который легче обрабатывается приборами.
Схема преобразования сигнала может включать фильтры, усилители, ограничители, ограничители или любую другую комбинацию аналоговых и цифровых схем, необходимую для преобразования необработанного выходного сигнала акселерометра в пригодные для использования форматы.Некоторые люди предпочитают использовать токовые петли в качестве выхода для защиты от помех и обнаружения неисправностей — другие могут предпочесть выходы напряжения с заданными выходными сопротивлениями.
Пьезоэлектрические датчики работают в зарядовом режиме без встроенной обработки сигнала. В режиме зарядки необработанные выходы напряжения с высоким импедансом акселерометра подаются непосредственно по кабелю на соответствующую электронику или контрольно-измерительные приборы.
Преимущества пьезоакселерометра
Пьезоакселерометрыобладают рядом преимуществ, в том числе:
Частотная характеристика — Пьезоэлектрические датчики имеют широкий частотный диапазон.В конце концов, пьезодатчики используются в самых разных приложениях, от обнаружения низких частот бас-гитары до обнаружения и передачи высоких частот ультразвукового устройства. Это означает, что производительность пьезоэлектрических акселерометров в широком диапазоне частот не превосходит другие акселерометры, представленные в настоящее время на рынке.
Температурная стабильность — Пьезоэлектрические датчики по своей природе стабильны в широком диапазоне температур. Эта характеристика позволяет удобно использовать пьезоакселерометры в приложениях, где конкурирующие технологии быстро выходят из строя.Некоторые из наших пьезоакселерометров могут работать при температурах до 160 C (320 F). Это позволяет устанавливать их непосредственно на многие типы промышленного оборудования без необходимости охлаждения.
Прочность — Наши пьезоакселерометры по своей сути прочны. Это связано с их твердотельной конструкцией и нашим исключительным производственным опытом, приобретенным с момента основания компании в 1986 году.
Адаптивность — Когда вы сообщаете нам о своем предполагаемом применении, наши инженеры приложат все усилия, чтобы вы получили удовлетворительный продукт — продукт, который соответствует или превосходит требования вашего предполагаемого приложения.
Электрические характеристики — Для всех практических целей наши пьезоэлектрические акселерометры выдают линейные и пропорциональные измеренным значениям ускорения напряжения. Это значительно упрощает формирование сигнала и даже позволяет размещать электронику преобразования сигнала на значительном расстоянии от акселерометра. У нас также есть навыки и знания, необходимые для внедрения оборудования для формирования сигналов, чтобы удовлетворить уникальные ожидания клиентов.
Типичные приложения
Пьезоакселерометрымогут использоваться в различных условиях и в различных условиях, и многие из наших клиентов имеют уникальные приложения.Инженеры APC International могут помочь вам разработать решение, точно соответствующее вашим требованиям. Некоторые распространенные приложения включают:
Датчики детонации двигателя — Производители двигателей постоянно сталкиваются с проблемами, связанными с контролем параметров двигателя. При неправильных обстоятельствах бензиновые двигатели подвержены нежелательному явлению, известному как детонация. Когда происходит детонация, воздушно-топливный заряд взрывается вместо того, чтобы плавно гореть, и это повреждает двигатель.
Исторически сложилось так, что большинство производителей разрабатывали двигатели с консервативными эксплуатационными запасами в ущерб эффективности, чтобы избежать этой печально известной проблемы. Однако с развитием более совершенных систем управления соответствующие параметры двигателя могут быть скорректированы в реальном времени, чтобы максимизировать эффективность и мощность. Если начинает происходить детонация, датчики детонации двигателя могут определить детонацию до того, как она станет проблемной, поэтому системы управления могут внести необходимые корректировки. Наши пьезоакселерометры особенно подходят для датчиков детонации двигателя, учитывая их внутреннюю термическую стабильность и высокую частотную характеристику.
Испытания и мониторинг вибрации — Пьезоэлектрические акселерометры часто используются при анализе вибрации машин. При некоторых обстоятельствах инженеры могут захотеть непрерывно контролировать вибрацию одного или нескольких единиц оборудования, пытаясь предсказать дорогостоящие отказы до того, как они произойдут. В других случаях заказчик может быть обеспокоен минимизацией шума оборудования. Они хотят внедрить мониторинг, чтобы можно было обнаружить чрезмерный шум, прежде чем он станет проблемой.
Мониторинг ударных импульсов подшипников двигателя — Мониторинг ударных импульсов (SPM) подшипников двигателя — относительно недавний метод, применяемый для контроля состояния и смазки подшипников. Каждый раз, когда происходит контакт металла с металлом внутри подшипника во время работы оборудования, при столкновении металлических поверхностей генерируются ударные импульсы.
Здоровые подшипники выдают относительно небольшое количество ударных импульсов большой амплитуды среди множества ударных импульсов низкой амплитуды. Подшипники, срок службы которых близок к завершению, или живущие в «резервное время», выдают большое количество ударных импульсов большой амплитуды.Это связано с тем, что металлические поверхности сталкиваются с большей силой и чаще, чем в случае здорового подшипника.
В типичной установке SPM пьезоэлектрический датчик устанавливается на корпусе подшипника или рядом с ним, и к нему подключается прибор для контроля выходного сигнала. Используя методы цифровой обработки сигналов, можно отслеживать и интерпретировать отношение ударных импульсов большой амплитуды к ударным импульсам низкой амплитуды, чтобы указать на исправность подшипников. При некоторых обстоятельствах промышленные предприятия, на которых используется много вращающегося оборудования, могут выбрать непрерывный мониторинг ударных импульсов.Это позволяет им заранее прогнозировать сбои и избегать дорогостоящих простоев.
Инерциальная навигация — Самолеты, космические корабли, подводные лодки и различные виды вооружения в значительной степени полагаются на инерциальную навигацию, которая позволяет им точно ориентироваться, используя передовые формы точного счисления. Собственная прочность и термическая стабильность наших пьезоэлектрических акселерометров помогут вашей машине удовлетворительно работать в суровых условиях с экстремальными температурами.
Дроны и беспилотные летательные аппараты — Автономные летательные аппараты широко используют акселерометры для контроля их устойчивости и положения.
Испытания на удар — Для испытаний оборудования на удар и удар необходимы надежные и надежные средства измерения продолжительного удара. Часто тесты такого рода повторяются несколько раз, и соответствующие датчики должны выдерживать повторяющиеся злоупотребления. Широкий рабочий диапазон и надежность наших акселерометров делают их идеальными кандидатами для таких приложений.
Система контроля устойчивости транспортного средства — Недавние изменения в стандартах автомобильной безопасности теперь требуют добавления системы контроля устойчивости транспортного средства ко всем легковым автомобилям, производимым для продажи в Соединенных Штатах.Важным для безопасности компонентом любой системы контроля устойчивости является точный и надежный набор акселерометров.
Сейсмические датчики — Сейсмические датчики требуют особо чувствительных и прочных акселерометров, чтобы быть эффективными, поскольку датчики могут быть закопаны под землей в удаленных местах на долгие годы.
Безопасность — В устройствах безопасности часто используются акселерометры для определения движения, сотрясения или ударов по интересующим объектам.
Автоматизация — Для широкого спектра приложений автоматизации требуются акселерометры по разным причинам.
Исследования и разработки — Вы можете использовать пьезоэлектрические изделия для получения технических преимуществ в своей области. Свяжитесь с нами, чтобы узнать, как наши клиенты проводят исследования и разработки с продуктами APC International.
Начало работы
Наша команда может работать с вами, чтобы удовлетворить ваши требования, график и бюджет. Если вы хотите более подробно обсудить свой пьезопроект или узнать больше о нашем ассортименте пьезодатчиков, свяжитесь с представителем APC International сегодня.Позвоните (570) 726-6961, чтобы поговорить с одним из наших представителей.
загадок о том, как они работают … раскрыты!
Пришло время раскрыть тайну типа акселерометра, который вы обычно используете при испытаниях на вибрацию и удар!
Существует много различных типов акселерометров, но пьезоэлектрические акселерометры являются наиболее популярными для измерения вибрации и ударов.
В этом посте я расскажу, как работают пьезоэлектрические акселерометры, преимущества и недостатки пьезоэлектрических акселерометров по сравнению с пьезорезистивными или емкостными МЭМС, и, наконец, я дам ссылки на то, где вы можете купить эти датчики.Также будут предоставлены дополнительные ресурсы по измерению вибрации и ударов.
Пьезоэлектрический эффект
Пьезоэлектрические материалы демонстрируют электроупругую связь … то есть они преобразуют часть энергии, связанную с любой внутренней механической деформацией, в восстанавливаемую электрическую энергию и наоборот. По сути, пьезоэлектрические преобразователи преобразуют механическую энергию (при напряжении) в электрический сигнал посредством пьезоэлектрического эффекта.Этот электрический сигнал пропорционален механической деформации пьезоэлемента и, следовательно, он пропорционален вибрации или удару системы.
Конфигурации пьезоэлектрического акселерометра
Активным элементом пьезоакселерометра является пьезоэлектрическая керамика. Одна сторона керамики жестко соединена с корпусом акселерометра, другая сторона имеет добавленную сейсмическую массу. Когда акселерометр подвергается вибрации, создается сила, которая действует на пьезоэлектрический элемент и сейсмическую массу.Из-за пьезоэлектрического эффекта от этой вибрации или удара создается выходной заряд, пропорциональный приложенной силе. В широком диапазоне частот масса датчика и основание датчика имеют одинаковую величину ускорения, поэтому датчик измеряет ускорение корпуса акселерометра.
Существует 3 основных конфигурации датчика: режим сдвига, сжатие и изгиб.
Режим сдвига
Пьезопластины настроены на деформацию сдвига в результате ускорения (т.е.е. пьезопластины перпендикулярны основанию). Эта конфигурация стала самой популярной, поскольку пьезопластины изолированы от основания, что помогает снизить температурную чувствительность и восприимчивость к деформации основания. Но эта конфигурация обычно имеет относительно низкое отношение чувствительности к массе, что означает, что вам понадобится усилитель заряда.
Рисунок 1: Показана конфигурация пьезоэлектрического акселерометра, работающего в режиме сдвига.Режим сжатия
С пьезоэлементом в сжатом состоянии он находится прямо на одной линии с основанием и сейсмической массой выше.Это обеспечивает умеренно высокое отношение чувствительности к массе, но это приводит к эффективной системе пружина-масса между пьезоэлектрическим элементом и основанием. Это может привести к легко полученным ошибочным результатам из-за изгиба основания или теплового расширения. Поэтому эта конфигурация используется редко, за исключением случаев сильных ударов из-за ее надежности.
Рисунок 2: Показана конфигурация пьезоэлектрического акселерометра в режиме сжатия.Пьезоэлектрический трубогиб
Самая простая для понимания конфигурация — это пьезоэлектрический элемент, действующий как консольная балка с массой наконечника.Это обеспечивает наилучшее соотношение чувствительности к массе, настолько, что этот тип акселерометра не требует питания (на самом деле он может обеспечить мощность — см. Сбор энергии). Но эта конфигурация также демонстрирует наивысшую температурную чувствительность, является относительно хрупкой (поэтому многослойные / упакованные пьезоэлектрические преобразователи могут дать преимущество) и, как правило, имеет более низкую резонансную частоту и, следовательно, более низкую полосу пропускания. Таким образом, сейчас они редко используются для точного тестирования, но они дают большое преимущество в качестве датчика без питания, чтобы разбудить основную сенсорную систему.
Рисунок 3: Показана конфигурация пьезоэлектрического акселерометра с консольной балкой.Пьезоэлектрическая встроенная электроника (IEPE)
Большинство пьезоэлектрических акселерометров имеют встроенную электронную схему для преобразования выходного сигнала с высоким импедансом (высокое напряжение, низкий ток) пьезоэлектрика в сигнал напряжения с низким импедансом (низкое напряжение, высокий ток). Сейчас это обычное дело, и большинство пьезоэлектрических акселерометров будут иметь встроенную электронику.Преимущества включают:
- Фиксированная чувствительность, не зависящая от длины и качества кабеля
- Не требует дорогостоящих кондиционеров сигнала
- Они более дорогие, но с меньшими затратами на кабели и электронику — общая стоимость испытательной установки на основе акселерометра IEPE составляет менее
Но есть приложения, в которых пьезоэлектрические акселерометры со встроенной электроникой (IEPE) не идеальны, и предпочтительным является выход в режиме заряда:
- Применение при более высоких температурах (IEPE обычно ограничивается до 250 ° F)
- Не требует фиксированного тока возбуждения (или любого источника питания)
- Обеспечивает высочайшее разрешение, но для предотвращения шума требуются специальные кабели.
Обратите внимание, что IEPE и пьезоэлектрик интегральной схемы (ICP®) в основном означают одно и то же, хотя технически PCB Piezotronics имеет торговую марку ICP®.Термины IEPE и ICP фактически стали взаимозаменяемыми в отрасли. Более подробная информация об акселерометрах ICP® для печатных плат доступна здесь.
Многие из основных поставщиков пьезоэлектрических акселерометров проводят более подробные сравнения между режимом зарядки и ICP / IEPE. Вот две хорошие статьи по этой теме, с которыми я столкнулся:
Преимущества пьезоэлектрических акселерометров
Пьезоэлектрические акселерометрына сегодняшний день являются наиболее популярными в промышленных испытательных приложениях.Емкостные МЭМС-акселерометры стали очень популярными во встроенной электронике благодаря своей низкой стоимости и небольшому размеру, но пьезоэлектрики по-прежнему доминируют среди инженеров-механиков, выполняющих испытания на удар и вибрацию. Вот некоторые из их преимуществ:
- Низкий уровень шума
- Широкий диапазон — подходит для испытаний на вибрацию малой амплитуды, а также на удары большой амплитуды
- Превосходная линейность во всем динамическом диапазоне
- Широкий частотный диапазон — их можно настроить с очень высоким резонансом
- Очень популярен, поэтому инженерам доступен широкий спектр опций для настройки выбора датчика в соответствии с конкретным испытательным приложением.
Недостатки пьезоэлектрических акселерометров
Хотя пьезоэлектрические акселерометры очень популярны для испытаний на ударную нагрузку и вибрацию (не зря), они имеют некоторые недостатки. Рисунок 4 представляет собой типичную частотную характеристику пьезоэлектрического акселерометра. При использовании пьезоэлектрического акселерометра вы должны знать, что пьезоэлектрические акселерометры хороши в своем относительно широком диапазоне частот, но на внешних границах они могут испытывать очень большие отклонения.
Рисунок 4: Типичная частотная характеристика пьезоэлектрического акселерометра показана с установленной резонансной частотой 10 000 Гц.Спад низких частот
Пьезоэлектрические акселерометры не способны работать по постоянному току.Пьезосу необходимо динамических силы, чтобы воздействовать на него, пьезоэлектрический акселерометр никогда не может напрямую измерить силу, действующую под действием силы тяжести . Низкочастотное опрокидывание пьезоэлектрического акселерометра определяется электронной схемой и может быть настроено таким образом, чтобы вы могли измерять очень низкочастотные (<1 Гц) колебания, например, при сейсмических исследованиях или при больших конструкциях. Но они никогда не смогут измерить уровни статического ускорения - не ожидайте смещения 1g от пьезоэлектрического акселерометра из-за силы тяжести!
Для многих приложений низкочастотные колебания и вектор силы тяжести не представляют особого интереса, и на самом деле может быть полезно, чтобы акселерометр эффективно действовал как фильтр верхних частот.
Резонансное усиление
При резонансе происходит значительное усиление. Как правило, примерно на 1/5 установленной резонансной частоты акселерометр дает положительное 5% отклонение от фактического уровня вибрации. Примерно на 1/3 резонансной частоты акселерометр имеет положительное отклонение 10%. Примерно на 1/2 резонанса отклонение выросло до 3 дБ (положительный 41%). В резонансе усиление обычно составляет 30 дБ (более 30x).
Усиление , которое происходит в резонансе или около него, является значительным и его следует избегать или, по крайней мере, идентифицировать.Когда я предлагал поддержку клиентам наших датчиков enDAQ (ранее известных как регистраторы данных вибрации Slam Stick), которые имеют встроенный трехосный пьезоэлектрический акселерометр, я часто задавал вопросы, на которые можно было ответить с помощью графика, показанного на рис. 4 . Представьте себе следующий сценарий:
У вас может быть тест, в котором истинный уровень ускорения составляет 10g, и вы используете акселерометр 100g — у вас достаточно свободного пространства, чтобы предотвратить срезание! Но … если этот уровень ускорения 10g находится на или около резонансной частоты вашего акселерометра — будьте осторожны! Эта штука будет испытывать и сообщать об ускорении на 300g.Его резонансная частота (или резонанс крепления, которое вы использовали) усиливала уровни ускорения до такой степени, что это делало акселерометр бесполезным.
Усиление из-за резонанса не может быть предотвращено или отфильтровано электронным способом — это чисто результат механической структуры внутри акселерометра и / или связи между ним и вашим испытательным приспособлением — то есть установка тоже имеет значение ! Единственный способ предотвратить это усиление — это а) избегать использования акселерометра с резонансом в частотном диапазоне вашей тестовой среды или б) механически фильтровать частоту с помощью двусторонней ленты, замазки для герметизации воздуховодов или даже виброизоляторов.Некоторые акселерометры также будут доступны с внутренним демпфированием, чтобы уменьшить это усиление при резонансе, но это обычно уменьшает полосу пропускания акселерометра.
Насыщение усилителя заряда
Еще один недостаток усиления, возникающего на высоких частотах и резонансе, заключается в том, что усиление может привести к тому, что акселерометр будет испытывать ударную амплитуду, превышающую диапазон его измерения. Когда уровни входного ускорения (в том числе усиленные механическим резонансом) превышают диапазон измерения датчика — это приведет к насыщению внутреннего усилителя заряда.
На рис. 5 представлены несколько графиков испытаний, проведенных одним из наших инженеров на винтовке AR15 с двумя датчиками enDAQ: один с резистивным акселерометром пьезо , а другой с электрическим акселерометром пьезо . Данные пьезорезистивного акселерометра показали, что уровень удара должен быть «всего» около 500 г. Пьезоэлектрик имел диапазон измерения ± 6000 г, что должно быть достаточно широким, чтобы зафиксировать событие. Но вибрация от выстрела из ружья содержала в себе значительное высокочастотное содержание , которое возбуждало резонанс пьезоэлектрического акселерометра.Это привело к насыщению выходного сигнала акселерометра на его внутреннем усилителе заряда, что привело к экспоненциальному затуханию, которое длилось около одной секунды.
Рисунок 5: Испытания на AR15 с помощью пьезорезистивной Slam Stick S, теперь известной как датчик enDAQ (данные в правом верхнем углу) и пьезоэлектрической Slam Stick X (данные в правом нижнем углу), показывают, что может произойти, когда пьезоакселерометр выходит за пределы диапазона измерений. Инженерыобычно видят этот тип данных и сразу же предполагают, что с их датчиком и / или электроникой что-то не так.Но это не так, высокочастотный контент в тесте просто вызвал резонанс в вашем датчике и / или креплении. Этот экспоненциальный спад является ключевым индикатором насыщения усилителя. Требуется либо механическое демпфирование, либо другой тип датчика или другой диапазон измерения.
УPCB Piezotronics есть отличный технический документ с дополнительной информацией об этом экспоненциальном затухании, которое происходит при насыщении усилителя заряда.
Пьезоэлектрические акселерометрыочень популярны, поэтому они доступны во множестве диапазонов измерений и от множества поставщиков.Я разбил список поставщиков по тому, поддерживают ли они электронную коммерцию (покупать онлайн).
Электронная коммерция
Я ненавижу , когда мне нужно «запросить расценки», чтобы узнать цены или купить что-то, что мне нужно / хочу. Я понимаю ценность процесса «запроса предложения» для крупных заказов, чтобы установить эти отношения с потенциальным клиентом, но когда вам просто нужна пара акселерометров для теста — вы просто хотите купить их, не разговаривая ни с кем! Следующие две компании имеют платформу электронной коммерции, позволяющую вам напрямую покупать большую часть их акселерометров прямо в Интернете.
Запросить цену
Все следующие четыре компании имеют обширный набор датчиков и производят хорошие продукты, но вам нужно будет поговорить с торговым представителем, чтобы узнать цены и заказать акселерометры.
Регистраторы данных акселерометра
Другой вариант, который часто упускается из виду, — это покупка комплексной системы, которая включает в себя акселерометр (ы), электронику и источник питания в одном корпусе. Это может быть очень полезно для:
- Первоначальное тестирование, которое поможет вам определить, какой тип акселерометра / диапазон измерения вам нужен и где их установить
- Испытания в полевых условиях или вдали от лаборатории, где могут возникнуть трудности с транспортировкой и установкой всего сопутствующего оборудования (DAQ, питание, формирователи сигналов и проводка)
- Быстрые тесты, при которых вам нужны данные быстро, чтобы получить представление о вашей тестовой среде
- Инженеры с ограниченным опытом проведения испытаний на ударную нагрузку и вибрацию — настройка некоторых электронных устройств может быть довольно сложной и требующей много времени.
- Ограниченный бюджет — большинство пьезоэлектрических акселерометров обычно стоят 1000 долларов за канал, не говоря уже о стоимости сопутствующей электроники.
- Длительное тестирование — установи и забудь
Регистраторы данных обычно не используются для модального тестирования или любого приложения, где требуется очень точная синхронизация (включая информацию о фазе) между датчиками.
Посетите наш блог, в котором оцениваются 11 лучших регистраторов данных вибрации. Здесь перечислены несколько различных вариантов, в том числе датчики enDAQ (бывшие регистраторы данных вибрации Midé (полное раскрытие — я работаю в Midé), которые объединяют несколько типов акселерометров в простой, легкий в использовании регистратор акселерометров, чтобы соответствовать множеству различных приложения для измерения движения, вибрации и ударов.
Более подробные статьи / обсуждения пьезоэлектрических акселерометров можно найти в этих двух статьях:
Обзор различных типов акселерометров можно найти в нашем блоге по выбору акселерометров.Здесь подробно описаны плюсы и минусы пьезоэлектрических, пьезорезистивных и емкостных МЭМС-акселерометров для различных приложений.
Если вы хотите узнать немного больше о различных аспектах испытаний и анализа ударов и вибрации, загрузите нашу бесплатную электронную книгу «Обзор испытаний на удары и вибрацию». Там есть несколько примеров, предыстория и множество ссылок, по которым вы можете узнать больше. И, как всегда, не стесняйтесь обращаться к нам, если у вас есть какие-либо вопросы!
Пьезоэлектрический акселерометр — измерительные системы
Пьезоэлектрический акселерометр (зарядный)
- Тип сжатия
-
Компрессионного типа имеет пьезоэлектрический элемент, закрепленный винтом между грузом и основанием.Измерение довольно большого удара возможно благодаря его повышенной механической прочности. Резонансная частота высока из-за своей чувствительности. Следовательно, акселерометры этого типа могут использоваться не только для общих приложений, но также для измерения высокоскоростных вращающихся механизмов или обнаружения утечек из трубопроводов.
- ■ Подходит для измерения высокочастотных или ускоряющих вибраций
- ■ Устойчивые работы, повышенная линейность
- ■ Широкий диапазон рабочих температур
Линейка продуктов нагнетательного / компрессионного типа
- Тип ножниц
-
Тип сдвига сконструирован так, что каждый пьезоэлектрический элемент имеет сдвиг, который пропорционален приложенному ускорению между полюсами.Это полезно для измерения низкочастотной вибрации даже в условиях сильного перепада температуры, поскольку пироэлектричество трудно поддается влиянию. Кроме того, он менее чувствителен к деформации основания.
- ■ Подходит для измерения высокочастотных или ускоряющих вибраций
- ■ Устойчив к изменениям температуры и возмущениям, вызванным деформацией монтажной секции
- ■ Покрытие от маленького и легкого до высокой чувствительности
Линейка продуктов для загрузки / сдвига
- Тип гибки
-
Изгибающий тип имеет конструкцию для получения сигнала от пьезоэлементов, наклеенных на металлическую пластину, которая изгибается под действием ускорения.Это легкий вес и высокая чувствительность к ускорению, что позволяет контролировать землетрясения или небольшую вибрацию испытательных моделей плотины, электростанции или небольшого оборудования, например.
- ■ Маленький размер, легкий вес, высокая чувствительность
- ■ Устойчивые работы, повышенная линейность
Линейка продуктов для загрузки / гибки
Двухлинейный выходной усилитель заряда
Двухлинейный выходной усилитель заряда представляет собой преобразователь заряда / напряжения, который преобразует выходной заряд акселерометра в напряжение с низким сопротивлением.Он работает, питаясь током от измерительного оборудования с источником постоянного тока. Выходной сигнал получается наложенным на ток питания.
- Заявка
-
1. В случае расстояния между измерениями
орудие и звукосниматель зарядного типа.
* Использование имеющегося в продаже коаксиального кабеля обеспечивает снижение затрат и высокую помехоустойчивость.
2. Используется, когда точка измерения высокотемпературная
и невозможно использовать звукосниматель со встроенным предусилителем.
3. Для использования с акселерометром зарядного типа и FFT
. Анализатор снабжен источником постоянного тока.
Двухлинейный выходной усилитель заряда
модельный ряд
Пьезоэлектрический акселерометр (Тип встроенного предусилителя)
Это пьезоэлектрический акселерометр со встроенным усилителем заряда для вывода сигнала напряжения с низким выходным сопротивлением.Менее дорогой коаксиальный кабель можно проложить на большие расстояния с минимальным снижением чувствительности и влияния внешних шумов. Подходит для мониторинга вибрации. Однако его не рекомендуется использовать при высоких температурах, в диапазоне очень высоких частот или для измерения очень большого ускорения.
Характеристики
-
[Частотная характеристика]
Верхний предел полезной частоты зависит от собственной резонансной частоты или жесткости крепления.Более низкая полезная частота ограничена постоянной времени усилителя.
-
[Температурные характеристики]
Чувствительность пьезоэлемента к ускорению зависит от температуры.Хотя такой эффект зависит от материала и структуры, высокая температура обычно дает большую емкость, более высокую чувствительность к заряду и меньшую чувствительность к напряжению.
-
[Чувствительность поперечной оси]
Чувствительность к ускорению, приложенному вдоль оси 90 ° к оси чувствительности, составляет менее 5%.
Способы крепления
* Тип загиба — стационарный или фиксируемый клеем / двусторонним скотчем.
Модельный ряд
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 35000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 10 000 Гц ± 1 дБ |
Чувствительность к заряду | 1.5 пКл / (м / с 2 ) ± 20% |
Емкость | 950 пФ |
Максимально допустимое ускорение | 20000 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -30 до 150 ° C |
Кабельное соединение | Боковое резьбовое соединение 10-32 |
Вес | 9 г |
Материал корпуса | Алюминий (A2017B) |
* fc: значение определяется постоянной времени усилителя
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 29000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * 1 от до 5000 Гц ± 1 дБ |
Чувствительность к заряду | 5.0 пКл / (м / с 2 ) ± 10% |
Емкость | 1,200 пФ ± 20% |
Максимально допустимое ускорение | 5000 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -30 до 150 ° C |
Структура | Изоляционный и каплезащищенный (эквивалент IP54 * 2 ) |
Кабельное соединение | Соединитель TNC вверх |
Вес | 53 г |
Материал | Нержавеющая сталь (SUS303) |
* 1 fc: значение определяется постоянной времени усилителя
* 2 При использовании специального кабеля
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 23000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 5000 Гц ± 1 дБ |
Чувствительность к заряду | 5.0 пКл / (м / с 2 ) ± 20% |
Емкость | 1000 пФ |
Максимально допустимое ускорение | 16000 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -20 до 250 ° C |
Кабельное соединение | Изолированный водонепроницаемый (эквивалент IP54) |
Кабельное соединение | Боковое резьбовое соединение 10-32 |
Вес | 42 г |
Материал корпуса | Нержавеющая сталь (SUS304) |
* fc: значение определяется постоянной времени усилителя
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 40 000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 13000 Гц |
Чувствительность к заряду | 0.22 пКл / (м / с 2 ) ± 20% |
Емкость | 1000 пФ |
Максимально допустимое ускорение | 10000 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -20 до +150 ° C |
Кабельное соединение | Боковой резьбовой соединитель M3 |
Вес | 1.2 г |
Материал | Титан и алюминий (A2017B) |
* fc: значение определяется постоянной времени усилителя
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 15000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 5000 Гц ± 1 дБ |
Чувствительность к заряду | 10 пКл / (м / с 2 ) ± 10% |
Емкость | 1000 пФ |
Максимально допустимое ускорение | 3000 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -20 до +120 |
Кабельное соединение | Соединитель с резьбой вверх 10-32 |
Вес | 35 г |
Материал | Нержавеющая сталь (SUS303) |
* fc: значение определяется постоянной времени усилителя
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 15000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 7000 Гц ± 1 дБ |
Чувствительность к заряду | 1.5 пКл / (м / с 2 ) ± 10% |
Емкость | 1000 пФ ± 20% |
Максимально допустимое ускорение | 5000 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -20 до +150 |
Кабельное соединение | Боковое резьбовое соединение 10-32 |
Вес | 40 г |
Материал | Титан (TB340H) |
* fc: Значение определяется постоянной времени усилителя.
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 30 000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 10 000 Гц ± 1 дБ |
Чувствительность к заряду | 1.5 пКл / (м / с 2 ) ± 10% |
Емкость | 1000 пФ ± 20% |
Максимально допустимое ускорение | 20000 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -20 до +150 ° C |
Кабельное соединение | Соединитель с резьбой вверх 10-32 |
Вес | 12 г |
Материал | Нержавеющая сталь (SUS303) |
* fc: значение определяется постоянной времени усилителя
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 35000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 10 000 Гц |
Чувствительность к заряду | 0.16 пКл / (м / с 2 ) ± 20% |
Емкость | 440 пФ |
Максимально допустимое ускорение | 50 000 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -20 до +160 ° C |
Кабельное соединение | Боковой резьбовой соединитель M3 |
Вес | 5.2 г |
Материал | Титан |
* fc: значение определяется постоянной времени усилителя
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 12000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 3500 Гц ± 1 дБ |
Чувствительность к заряду | 35 пКл / (м / с 2 ) ± 10% |
Емкость | 1500 пФ ± 20% |
Максимально допустимое ускорение | 1500 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -20 до +120 |
Кабельное соединение | Боковое резьбовое соединение 10-32 |
Вес | 100 г |
Материал | Нержавеющая сталь (SUS303) |
* fc: значение определяется постоянной времени усилителя
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 30 000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 10 000 Гц ± 1 дБ |
Чувствительность к заряду | 3.0 пКл / (м / с 2 ) ± 10% |
Емкость | 1500 пФ |
Максимально допустимое ускорение | 9800 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -40 до +160 ° C |
Кабельное соединение | Боковое резьбовое соединение 10-32 |
Вес | 24 г |
Материал | Нержавеющая сталь (SUS303) |
* fc: значение определяется постоянной времени усилителя
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 60 000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 13000 Гц ± 1 дБ |
Чувствительность к заряду | 0.035 пКл / (м / с 2 ) ± 20% |
Емкость | 340 пФ |
Максимально допустимое ускорение | 100000 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -50 до +160 ° C |
Кабельное соединение | Боковое резьбовое соединение 10-32 |
Вес | 0.2 г |
Материал корпуса | Титан |
* fc: значение определяется постоянной времени усилителя
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 50 000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 10 000 Гц ± 1 дБ |
Чувствительность к заряду | 0.04 пКл / (м / с 2 ) ± 20% |
Емкость | 250 пФ |
Максимально допустимое ускорение | 50 000 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -50 до +160 ° C |
Кабельное соединение | Боковое прямое 10–32 с гнездом |
Вес | 1.2 г |
Материал корпуса | Титан |
* fc: значение определяется постоянной времени усилителя
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 26000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 7000 Гц ± 1 дБ |
Чувствительность к заряду | 5.0 пКл / (м / с 2 ) ± 10% |
Емкость | 1000 пФ ± 20% |
Максимально допустимое ускорение | 5000 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -20 до +150 ° C |
Кабельное соединение | Соединитель с резьбой Upword 10-32 |
Вес | 23 г |
Материал | Нержавеющая сталь (SUS303) |
* fc: значение определяется постоянной времени усилителя
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 25000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 7000 Гц ± 1 дБ |
Чувствительность к заряду | 5.0 пКл / (м / с 2 ) ± 10% |
Емкость | 1000 пФ |
Максимально допустимое ускорение | 10000 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -20 до +120 ° C |
Кабельное соединение | Соединитель с резьбой Upword 10-32 |
Вес | 45 г |
Материал | Нержавеющая сталь (SUS303) |
* fc: значение определяется постоянной времени усилителя
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 3000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | fc * до 1000 Гц ± 1 дБ |
Чувствительность к заряду | 3.5 пКл / (м / с 2 ) ± 20% |
Емкость | 1000 пФ |
Максимальное ускорение по стрелке | 2000 м / с 2 |
Диапазон рабочих температур | от -20 до +80 ° C |
Кабельное соединение | Боковой резьбовой соединитель M3 |
Вес | 0.9 г |
Материал | Алюминий (A5052) |
* fc: значение определяется постоянной времени усилителя
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 40 000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | от 3 до 12000 Гц |
Чувствительность по напряжению | 1 мВ / (м / с 2 ) ± 10% |
Максимальное измеримое ускорение | 3000 м / с 2 |
Блок питания | 0.5–5 мА постоянного тока, напряжение 15–25 В |
Диапазон рабочих температур | от -30 до +110 ° C |
Кабельное соединение | Соединитель с резьбой M3, направленный вверх |
Вес | 1.9 г |
Материал | Титан |
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 35000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | от 10 до 8000 Гц |
Чувствительность по напряжению | 10 мВ / (м / с 2 ) ± 10% |
Емкость | 300 м / с 2 |
Максимально допустимое ускорение | 0.5–10 мА постоянного тока, напряжение 15–36 В |
Диапазон рабочих температур | от -50 до +110 ° C |
Кабельное соединение | Боковое резьбовое соединение 10-32 |
Вес | 10 г |
Материал | Титан |
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 35000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | от 3 до 5000 Гц |
Чувствительность по напряжению | 10 мВ / (м / с 2 ) ± 10% |
Максимальное измеримое ускорение | 500 м / с 2 |
Блок питания | 0.5–10 мА постоянного тока, напряжение 21–24 В |
Диапазон рабочих температур | от -50 до +110 C (5 мА) / от -50 до +70 C (10 мА) |
Кабельное соединение | Боковой специальный разъем |
Вес | 11 г |
Материал | Титан |
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 35000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | от 3 до 10 000 Гц ± 3 дБ |
Чувствительность по напряжению | 5 мВ / (м / с 2 ) ± 10% |
Максимальное измеримое ускорение | 700 м / с 2 |
Блок питания | 0.Постоянный ток от 5 до 10 мА, напряжение от 12 до 30 В |
Диапазон рабочих температур | от -30 до +110 ° C |
Структура | Изоляция и водонепроницаемость |
Кабельное соединение | Соединитель TNC вверх |
Вес | Прибл.49 г |
Материал | Нержавеющая сталь (SUS303) |
ускорение Встроенный предусилитель
Модельный ряд компрессионного типа Система контроля вибрации
VP-A12IW
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 50 000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | от 3 до 10 000 Гц ± 3 дБ |
Чувствительность по напряжению | 1 мВ / (м / с 2 ) ± 10% |
Максимальное измеримое ускорение | 3500 м / с 2 |
Блок питания | 0.От 5 до 5 мА постоянного тока, напряжение от 12 до 30 В |
Диапазон рабочих температур | от -30 до +110 ° C |
Структура | Изоляционный и каплезащищенный (эквивалент IP54 * ) |
Кабельное соединение | Соединитель TNC вверх |
Вес |
44 г |
Материал | Нержавеющая сталь (SUS303) |
* При использовании специального кабеля
■ Технические характеристики
Частота резонанса | > 32000 Гц |
---|---|
Диапазон частот | от 2 до 10 000 Гц ± 10% |
Чувствительность по напряжению | 50 мВ / Г ± 10% |
Максимальное измеримое ускорение | 1568 м / с 2 |
Блок питания | 0.Постоянный ток от 5 до 8 мА, напряжение от 15 до 30 В |
Диапазон рабочих температур | от -20 до +80 ° C |
Структура | Искробезопасность (Ex iaⅡC T4 Ga) |
Кабельное соединение | Разъем M12 |
Вес | 106 г |
Материал | Нержавеющая сталь (SUS303) |
■ Технические характеристики
Прирост |
-1 мВ / пКл ± 2% |
---|---|
Блок питания | 0.От 5 до 5 мА постоянного тока, напряжение от 15 до 30 В |
Диапазон частот | от 2 до 50 000 Гц (в случае 1000 пФ) |
Максимальное выходное напряжение | > 3.5 Вп |
Выходное сопротивление | > 20 Ом |
Диапазон рабочих температур | от -20 ° C до -70 ° C (без замерзания) |
Порог шума | > 20 мкВ среднекв. |
Кабельное соединение |
Разъем BNC |
Вес | Прибл.30 г |
Земля | Корпус |
Материал | Алюминий |
О конструкции пьезоэлектрического акселерометра MEMS, соединенного со средним ухом в качестве имплантируемого датчика для слуховых аппаратов
Модель конечных элементов
В литературе можно найти несколько конструкций пьезоэлектрических акселерометров MEMS 15,16,17,18,19 , однако, за исключением Beker et al . 11 , были рассмотрены варианты применения, отличные от имплантируемых датчиков. Как правило, эти датчики состоят из пяти элементов: рамы, сейсмической массы, набора лучей для обеспечения жесткости системы, пьезоэлектрического слоя и электродов. Для настоящего исследования были выбраны три конфигурации с учетом чувствительности, наблюдаемой в предыдущих работах, и они включают: (i) традиционную геометрию батута, (ii) кольцевую геометрию и (iii) альтернативную конструкцию, состоящую из четырех шестиугольных балок и квадратная сейсмическая масса 19 , как показано на рис.1. Общей характеристикой этих конфигураций является то, что включены две пьезоэлектрические области, одна из которых расположена ближе к каркасу (внешний слой), а другая — близко к сейсмической массе (внутренний слой). В то время как одна область находится под растягивающим напряжением, другая — под сжимающим напряжением, так что разница зарядов обоих слоев увеличивает общий заряд Q T , генерируемый пьезоэлектрическим датчиком.
Рис. 1Вид сверху на различные проанализированные пьезоэлектрические акселерометры MEMS: батутные (слева), кольцевые (в центре) и гексагональные балки с квадратной сейсмической массой (справа).
Из-за сложной природы пьезоэлектрических акселерометров MEMS, КЭ-моделирование было предпочтительным методом для моделирования этих устройств, что доказало получение надежных результатов в многочисленных исследованиях 15,16,18 . Поскольку пьезоэлектричество возникает из-за связи между механическими и электрическими характеристиками конструкции, оба граничных условия должны быть установлены в модели FE. С электрической точки зрения пьезоэлектрические акселерометры могут быть предназначены для работы в качестве источников электрического заряда или напряжения.Режим источника заряда обеспечивает значительное преимущество по сравнению с источником напряжения, поскольку паразитная емкость и емкость кабеля не влияют на результирующий зарядный отклик датчика. Таким образом, схема усилителя может быть размещена на расстоянии от датчика без потерь сигнала 20 , что может иметь решающее значение для имплантируемых датчиков среднего уха. Следовательно, был выбран режим источника заряда. В модели FE этот режим достигается установкой нулевой разности напряжений между заземляющим и верхним плоскими электродами 15 .Реакция на чистый заряд Q T акселерометра затем вычисляется с помощью 20
$$ {Q} _ {{\ rm {T}}} = {\ int} _ {{A} _ {{ \ rm {I}}}} D \, {\ rm {d}} {A} _ {{\ rm {I}}} — {\ int} _ {{A} _ {{\ rm {O}} }} D \, {\ rm {d}} {A} _ {{\ rm {O}}}, $$
(1)
, где D представляет собой электрическое смещение, а A I и A O — это области внутреннего и внешнего электродов (см. Рис. 2).
С механической точки зрения датчик считается гофрированным в основании рамы, и гармоническая сила ρ × 1 м / с 2 применяется ко всей области для имитации единичного ускорения.На рис. 2 показан разрез кольцевого пьезоэлектрического акселерометра, где представлены граничные условия и объемные силы, применяемые в Fe-моделях. На этом же рисунке показаны геометрические параметры кольцевого акселерометра, где: D см — диаметр сейсмической массы, W м — ширина мембраны, L O — внешняя Длина слоя AlN, а L I — длина внутреннего слоя AlN.Более подробная информация о сетке и свойствах материала моделей КЭ представлена в разделе методов.
Рис. 2Геометрические параметры, граничные условия и массовая сила, налагаемая в модели FE, здесь представлены в разрезе кольцевого акселерометра.
Модели FE были разработаны с учетом правил проектирования, налагаемых пьезоэлектрическими многопользовательскими процессами MEMS (PiezoMUMPS) MEMSCAP. Процедура PiezoMUMPS начинается с пластины кремний на изоляторе (SOI); который состоит из стопки из 400 пластин ручек толщиной мкм, толщиной м, 1 мкм, скрытого оксида толщиной мкм и слоя устройства SOI толщиной 10 мкм.Слой AlN толщиной 500 нм напыляется и наносится рисунок поверх КНИ, на который нанесены два металлических слоя — 1 мкм толщиной м алюминия и 0,02 мкм мкм хрома. Заключительными этапами процесса являются удаление кремния с верхней части слоя КНИ с помощью реактивного ионного травления (RIE) и удаление нижнего слоя кремния с пластины с помощью глубокого реактивного ионного травления (DRIE) 21 . И литейное производство, и процесс были выбраны из-за более низкой стоимости, быстрого прототипирования и надежности.Однако важно отметить, что слой AlN толщиной 500 нм является сильным ограничением для работы пьезоэлектрического акселерометра, что для подтверждения концепции было сочтено приемлемым. Принимая во внимание максимальную площадь 2 × 2 мм 2 и ограничения PiezoMUMPS, минимальные, максимальные и фиксированные значения параметров кольцевого акселерометра, определенные для анализа, показаны в таблице 2.
Таблица 2 Минимум, максимум и фиксированные параметры, применяемые к модели кольцевого акселерометра из-за правил проектирования и размеров цепи слуховых косточек среднего уха.Значения, представленные в таблице 2, также определяют нижнюю и верхнюю границы, применяемые в процессе оптимизации. Помимо этих ограничений, в процессе оптимизации также учитывались два линейных ограничения, заданные формулой
$$ {D} _ {{\ rm {sm}}} + 2 {W} _ {{\ rm {m}}} \ le 1.8 \ , {\ rm {mm}} \, {\ rm {and}} \, {W} _ {{\ rm {m}}} — {L} _ {{\ rm {O}}} — {L} _ {{\ rm {I}}} \ ge 25 \, \ mu {\ rm {m}}. $$
(2)
Эти ограничения налагали максимум 2 × 2 мм датчика 2 , сохраняя при этом 100 мкм м с каждой стороны для следов и контактных площадок и создавали зазор не менее 25 мкм м между двумя слоями AlN, что позволяет избежать короткое замыкание.В случае конструкции батута и шестиугольных балок эти ограничения были немного изменены, чтобы отразить характеристики этих датчиков.
Внутренний шум датчика
Ключевым фактором сравнения для датчиков слуховых аппаратов, установленных в среднем ухе, является эквивалентный входной шум датчика (EIN) в SPL, т. {2}, $$
(3)
, где \ ({\ overline {\ ddot {Y}}} _ {{\ rm {Th}}} \) — спектральное ускорение из-за теплового шума, \ ({\ overline {\ ddot {Y}}} _ {{\ rm {El}}} \) — спектральное ускорение, вызванное электрическим шумом, а \ ({\ overline {\ ddot {Y}}} _ {{\ rm {Amp}}} \) — спектральное ускорение шум из-за схемы усилителя.{2} = 4 \, {\ kappa} _ {{\ rm {B}}} \, T \, \ frac {2 \ pi {f} _ {{\ rm {n}}}} {{m} _ {{\ rm {ms}}} \, Q}, $$
(4)
, где κ B — постоянная Больцмана (1,3807 ⋅ 10 −23 Дж / К), T — температура в Кельвинах, f n — собственная частота, м ms — это сейсмическая масса, а Q — добротность. В целом, \ ({\ overline {\ ddot {Y}}} _ {{\ rm {Th}}} \) выше в датчиках MEMS, чем в макроакселерометрах, из-за их меньшей сейсмической массы.Датчики AlN, однако, обычно имеют более высокий коэффициент качества, чем акселерометры PZT, поэтому рендеринг ниже \ ({\ overline {\ ddot {Y}}} _ {{\ rm {Th}}} \) для аналогичных f n и м см . {2}}, $$
(5)
, где η — коэффициент емкостных потерь, C I и C O — емкости внутреннего и внешнего электродов, а Q O ( f ) и Q I ( f ) — это заряд на частотную характеристику ускорения, полученную на каждом наборе электродов.{2}, $$
(6)
, где \ ({\ overline {\ ddot {Y}}} _ {{{\ rm {Amp}}} _ {{\ rm {Outer}}}} \) и \ ({\ overline {\ ddot { Y}}} _ {{{\ rm {Amp}}} _ {{\ rm {Inner}}}} \) — спектральный шум ускорения из-за схемы усилителя, приложенной к каждому набору электродов, и e O ( f ) и e I ( f ) — спектральный шум напряжения электронных схем, приложенный к датчику шумом схемы на каждом электроде.В этом исследовании шум усилителя не учитывался.
Пьезоэлектрический акселерометр : Вискозиметры : Продукция : SEKONIC CORPORATION
・ Маленький размер, легкий вес
・ Встроенный фильтр
・ Низкий уровень шума
・ Выход RMS-DC
Пьезоэлектрическая керамика — одна из функциональных керамик, которые искусственно созданы для генерирования электрического заряда путем добавления искажений.
Акселерометр, использующий это свойство, так что генерирование заряда, пропорционального виброускорению, применяется к измеренным значениям ускорения от величины заряда.
Технология «диагностика оборудования по вибрации» для мониторинга и проверки оборудования по частоте и уровню вибрации и изучения реакции машин и конструкций на вибрацию, методы «анализа режимов» и т. Д., Она применялась во многих областях в последние годы.
В последние годы эти методы применяются не только в автомобилях, самолетах и станках, но и в небольших конструкциях, таких как жесткий диск или компакт-диск.
Жизненно важным для измерения вибрации является датчик вибрации, который можно назвать по большей части «датчиком ускорения».
Пьезоэлектрические акселерометры, которые позволяют измерять высокую частоту среди различных «датчиков ускорения» и обладают высокой ударопрочностью, легкие и компактные, используются в различных измерениях вибрации и ударов.
Мы производим пьезоэлемент — пьезокерамику датчика ускорения.По структуре он подразделяется на три типа: тип с разделением центра, тип сжатия и тип изгиба.
ТИП | 10S | 10SW | 103S | 110B | 111BW |
---|---|---|---|---|---|
Внешний вид | |||||
Размер | |||||
Элемент | Ультра-маленький Легкий Выходной кабель прямой |
Ультра-маленький Легкий Водонепроницаемый |
Маленький Легкий Верхний соединитель |
Малый размер Высокая чувствительность Выходной кабель прямой |
Маленький размер Высокая чувствительность Водонепроницаемый |
пКл / м с-2 Заряд Чувствительность пКл / м с-2 |
0.045 | 0,045 | 0,06 | 1,8 | 1,8 |
Гц Диапазон частот HZ | 1 Гц ~ 10 кГц 5% 10 кГц ~ 20 кГц 10% |
1 Гц ~ 10 кГц 5% 10 кГц ~ 20 кГц 10% |
1 Гц ~ 10 кГц 5% 10 кГц ~ 12 кГц 10% |
1 Гц ~ 1,3 кГц 5% |
1 Гц ~ 1,3 кГц 5% |
Резонансная частота кГц | 60 кГц | 60 кГц | 35 кГц | 4 кГц | 4 кГц |
Поперечная чувствительность% | 5% | 5% | 5% | 5% | 5% |
на 2500 м / с-2 Линейность% на 2500 м / с-2 |
1% | 1% | 1% | 1% | 1% |
Емкость пФ | 180 | 340 | 250 | 1 950 | 1 950 |
Сопротивление изоляции МОм | 20 000 | 20 000 | 20 000 | 10 000 | 10 000 |
Состояние грунта | Корпус | Корпус | Корпус | Корпус | Корпус |
Модель | Поделиться | Поделиться | Поделиться | Гибка | Гибка |
Масса г | 0.16 | 0,3 | 0,6 | 1,3 | 1,3 |
Материал корпуса | A7075 | Титан | Титан | СУС304 | СУС304 |
Разъем | 10-32UNF | 10-32UNF | M3 | 10-32UNF | 10-32UNF |
Способ монтажа | Адгезия | Адгезия | Адгезия | Адгезия | Адгезия |
Измерение максимального ускорения м с-2 |
10 000 | 10 000 | 10 000 | 5 000 | 5 000 |
Абсолютное ускорение при ударе м с-2 |
50 000 | 50 000 | 50 000 | 10 000 | 10 000 |
Диапазон рабочих температур ℃ | -50 ~ 160 | -50 ~ 160 | -50 ~ 160 | -20 ~ 120 | -20 ~ 120 |
Базовая чувствительность к деформации м с-2 / деформация |
0.5 | 0,5 | 0,05 | 0,2 | 0,2 |
Магнитная чувствительность м с-2 / Гаусс |
– | – | – | – | – |
Принадлежности | Данные калибровки Клейкая шпилька Снимите зажим Чемодан для хранения Кабель Φ2 (LNB-PP-02R0) |
Данные калибровки Клейкая шпилька Снимите зажим Чемодан для хранения |
Данные калибровки Снимите приспособление Чемодан для хранения Кабель Φ1 (LNB-PP-02R0) |
Данные калибровки Клейкая шпилька Снимите зажим Чемодан для хранения |
Данные калибровки Клейкая шпилька Снимите зажим Чемодан для хранения |
ТИП | 113B | 201S | 203S | 206C | 208S |
---|---|---|---|---|---|
Внешний вид | |||||
Размер | |||||
Элемент | Малый размер Тип разъема |
Маленький размер Легкий Центральное отверстие |
Малый размер Легкий |
Малый Амортизатор для завинчивания |
Малый размер Легкий |
Чувствительность к заряду пКл / м с-2 |
0.35 | 0,2 | 0,4 | 0,08 | 0,12 |
Диапазон частот Гц | 1 Гц ~ 3 кГц 5% |
1 Гц ~ 10 кГц 5% 10 кГц ~ 20 кГц 10% |
1 Гц ~ 10 кГц 5% 10 кГц ~ 16 кГц 10% |
1 Гц ~ 10 кГц 5% 10 кГц ~ 16 кГц 10% |
1 Гц ~ 10 кГц 5% 10 кГц ~ 20 кГц 10% |
Резонансная частота кГц | 10 кГц | 60 кГц | 50 кГц | 50 кГц | 60 кГц |
Поперечная чувствительность% | 5% | 5% | 5% | 5% | 5% |
на 2500 м / с-2 Линейность% на 2500 м / с-2 |
1% | 1% | 1% | 1% | 1% |
Емкость пФ | 1,500 | 520 | 520 | 600 | 250 |
Сопротивление изоляции МОм | 10 000 | 20 000 | 20 000 | 20 000 | 20 000 |
Состояние грунта | Корпус | Корпус | Корпус | Корпус | Корпус |
Модель | Гибка | Поделиться | Поделиться | Компрессия | Поделиться |
Масса г | 2.3 | 1,5 | 2 | 4,5 | 1 |
Материал корпуса | СУС304 | A7075 | A7075 | СУС304 | Титан |
Разъем | M3 | M3 | M3 | 10-32UNF | M3 |
Способ монтажа | Адгезия | M2 | Адгезия | M5 | Адгезия |
Измерение максимального ускорения м с-2 |
10 000 | 10 000 | 10 000 | 50 000 | 10 000 |
Абсолютное ускорение при ударе м с-2 |
30 000 | 50 000 | 50 000 | 80 000 | 30 000 |
Диапазон рабочих температур ℃ | -20 ~ 120 | -50 ~ 160 | -50 ~ 160 | -50 ~ 150 | -50 ~ 160 |
Базовая чувствительность к деформации м с-2 / мк |
0.2 | 0,3 | 0,3 | 0,2 | 0,05 |
Магнитная чувствительность м с-2 / Гаусс |
– | – | – | – | – |
Принадлежности | Данные калибровки Клейкая шпилька Снимите зажим Чемодан для хранения Кабель Φ1 (LNB-PP-02R0) |
Данные калибровки Клейкая шпилька Шестигранный ключ Чемодан для хранения Набор болтов M2 Кабель Φ1 (LNA-PS-02R0) |
Данные калибровки Клейкая шпилька Снимите зажим Чемодан для хранения Кабель Φ1 (LNA-PS-02R0) |
Данные калибровки Снимите приспособление Кейс для хранения |
Данные калибровки Снимите приспособление Чемодан для хранения Кабель Φ1 (LNA-PS-02R0) |
ТИП | 210S | 301S | 303S | 305SW | 313S |
---|---|---|---|---|---|
Внешний вид | |||||
Размер | |||||
Элемент | Маленький Легкий Верхний соединитель |
Универсальный Центральное отверстие |
Универсальный Высокая чувствительность |
Центральное отверстие Водонепроницаемость |
Универсальное Низкая цена |
Чувствительность к заряду пКл / м с-2 |
0.3 | 3,6 | 4,2 | 1,3 | 2 |
Диапазон частот Гц | 1 Гц ~ 10 кГц 5% | 1 Гц ~ 7 кГц 5% | 1 Гц ~ 7 кГц 5% | 1 Гц ~ 8 кГц 5% | 1 Гц ~ 10 кГц 5% |
Резонансная частота кГц | 30 кГц | 23 кГц | 23 кГц | 26 кГц | 30 кГц |
Поперечная чувствительность% | 5% | 5% | 5% | 5% | 5% |
Линейность% на 2500 м / с-2 |
1% | 1% | 1% | 1% | 1% |
Емкость пФ | 520 | 1,300 | 1,300 | 2200 | 1,200 |
Сопротивление изоляции МОм | 20 000 | 20 000 | 20 000 | 20 000 | 20 000 |
Состояние грунта | Корпус | Корпус | Корпус | Корпус | Корпус |
Модель | Поделиться | Поделиться | Поделиться | Поделиться | Поделиться |
Масса г | 1.8 | 13 | 15 | 16 | 23 |
Материал корпуса | Титан | Титан | Титан | СУС304 | СУС304 |
Разъем | M3 | 10-32UNF | 10-32UNF | 10-32UNF | 10-32UNF |
Способ монтажа | Адгезия | М4 | M5 | М4 | M5 |
Измерение максимального ускорения м с-2 |
10 000 | 10 000 | 10 000 | 10 000 | 10 000 |
Абсолютное ускорение при ударе м с-2 |
30 000 | 30 000 | 30 000 | 30 000 | 30 000 |
Диапазон рабочих температур ℃ | -50 ~ 160 | -50 ~ 160 | -50 ~ 160 | -20 ~ 120 | -20 ~ 100 |
Базовая чувствительность к деформации м с-2 / деформация |
0.05 | 0,2 | 0,1 | 0,2 | 0,05 |
Магнитная чувствительность м с-2 / Гаусс |
– | – | – | – | – |
Принадлежности | Данные калибровки Снимите приспособление Чемодан для хранения Кабель Φ1 (LNA-PS-02R0) |
Данные калибровки Клейкая шпилька Шестигранный ключ Чемодан для хранения Набор болтов M4 Кабель Φ1 (LNB-PP-02R0) |
Данные калибровки Клейкая шпилька Установочный винт M5 Чемодан для хранения Кабель Φ2 (LNA-PS-02R0) |
Данные калибровки Клейкая шпилька Набор болтов M4 Шестигранный ключ Чемодан для хранения |
Данные калибровки Клейкая шпилька Установочный винт M5 Чемодан для хранения Кабель Φ2 (LNA-PS-02R0) |
Справочник по выбору датчика ускорения.
1.Выберите датчик массой не более одной десятой от измеряемого объекта.
2. Рассмотрите частотные характеристики датчика с собственной частотой (резонансной частотой) объекта измерения.
3.Разрешающая способность измерения зависит от настройки и способа комбинирования характеристик усилителя заряда.
4.Перечисленные значения являются типичными. Значения калибровки указаны на этикетке с характеристиками каждого датчика.
5. Разъем показывает стандарт винта.Вилка, разъем или розетка зависит от оборудования.
Пьезоэлектрический акселерометр генерирует заряд и напряжение пропорционально ускорению преобразователем ускорения, который сам генерирует электрический заряд. Усилитель заряда преобразует заряды в сигнал напряжения для облегчения работы и усиливает.
Усилитель напряжения не используется так часто из-за изменения чувствительности в зависимости от длины кабеля и требует очень высокого входного сопротивления.
Обычно используется усилитель заряда, который принимает заряд.
Усилитель заряда серии CA4200, который был разработан специально для пьезоэлектрических акселерометров, хорош для простого в обращении усилителя, небольшой, легкий, полностью раскрывающий преимущества звукоснимателя.
- ●
- Поскольку это система усилителя заряда, ее легко использовать без изменения чувствительности по длине соединительного кабеля.
- ●
- Широкий ассортимент пьезоэлектрических акселерометров доступен с помощью диска установки чувствительности и переключателя чувствительности.
- ●
- Компактный и легкий
- ●
- 2WAY система питания (питание переменного тока, аккумулятор)
- ●
- Встроенный фильтр с функцией
ТИП | CA4200 |
---|---|
Элемент |
・ Усилитель заряда ・ Компактный и легкий ・ Встроенный фильтр ・ Низкий уровень шума ・ Выход RMS-DC |
Выход |
0.01 В / м с-2 0,0001-9,99 пКл / м с-2 |
Частотная характеристика |
1 Гц ~ 50 кГц × 0,001,0,01 10 Гц ~ 50 кГц × 0,0001 |
Максимальный вход заряда | 3,5 × 104пК |
Шум |
0,02 пКл при 0,01 пКл / м с-2 |
Линейность | 0.5 дБ |
Фильтр |
LPF 100 Гц, 1 кГц, 10 кГц HPF 10 Гц, 100 Гц, 1 кГц |
Масса | 420 г |
Пьезоэлектрические преобразователи | Мощность-MI
Преобразователь этого типа генерирует электрическое напряжение, пропорциональное ускорению, из-за давления, приложенного к пьезоэлектрическому кристаллу. Пьезоэлектрический акселерометр может точно измерять сигналы от 1 Гц до 15 000 Гц.Эти устройства хорошо подходят для получения данных о высокочастотной вибрации, когда необходимо обнаруживать большие силы при относительно небольших смещениях. Некоторые специальные преобразователи могут измерять гораздо более низкие частоты, а также гораздо более высокие частоты. Сбор данных о вибрации на высоких частотах зависит от способа крепления преобразователя к машине.
Пьезоэлектрический датчик скорости сконструирован так же, как акселерометр, но с усилителем сигнала, который выполняет интегрирование сигнала.Поскольку этот этап интегрирования выполняется внутри измерителя скорости, выходной сигнал выдается непосредственно в единицах скорости. В измерителе скорости используются хорошие частотные характеристики акселерометра, поэтому он генерирует линейный выходной сигнал в гораздо большем частотном диапазоне, чем датчик сейсмической скорости.
Преимущества пьезоэлектрического преобразователя:
- Большинство датчиков имеют широкий частотный диапазон, обычно от 2 Гц до 15 000 Гц. Следует отметить, что частотная характеристика обусловлена способом установки датчика в машине.
- Эти преобразователи очень компактны, не имеют движущихся частей, легкие и маленькие, для временной установки требуются небольшие магнитные основания.
- Внешний формирователь сигнала не требуется для преобразователя типа ICP (Integrated Circuit Piezoelectric). Хотя ICP является зарегистрированным товарным знаком PCB Piezotronics Inc., он стал общим термином для акселерометра со встроенным усилителем. Их также часто называют акселерометрами, работающими в режиме напряжения.
- Легко крепится на клей или прикручивается.Магнитные основания также могут быть доступны для временного монтажа или специального применения.
Недостатки пьезоэлектрического преобразователя:
- При использовании в ручном режиме или в режиме «стингера» для измерения высоких частот характеристика сигнала на частотах выше 1200 Гц очень плохая. Для акселерометров
- требуется внешний источник питания.
- Выходная амплитуда может быть выражена в единицах ускорения.